Cтраница 2
Рассмотренные методы управления и стабилизации параметров ПМП являются составной частью технологического процесса вакуумного напыления. Эти методы усложняют процесс изготовления пленок. Эффективность каждого метода оценивают, как правило, косвенным путем или путем прямого контроля пленок после их окончательного получения. С этой точки зрения представляет интерес метод управления коэрцитивной силой Нс путем химического травления поверхности пленок после их осаждения и извлечения из вакуумной установки. Различная скорость травления пленки на участках с неоднородной кристаллической структурой приводит к изменению ее толщины и повышению Нс. В качестве травителя используют 1 % - ный раствор H2SO4, в который непосредственно перед применением вводят 2 % - ный раствор натриевой соли изобутилнафталинсульфокислоты. Метод травления позволяет вести прямой контроль изменения величины Нс пленок с помощью осциллографической установки. [16]