Шлюзовое устройство

Cтраница 1

Шлюзовое устройство при этом состоит из двух камер: шлюзовой и аварийной - и имеет три шлюзовые перегородки с дверями, открывающимися в стороны повышенного давления. Кессоны применяются при сложных гидрогеологических условиях с искусственным замораживанием грунтов, а также искусственным водопонижением при помощи эжекторных иглофильтров. [1]

Шлюзовые устройства на этих линиях позволяют непрерывно подавать полуфабрикаты в вакуумную камеру. Частичная ионизация активного газа осуществляется прямым электронным пучком и вторичными электронами. При ионном напылении пары материала, образовавшиеся во время термического испарения, пропускают через зону газового разряда, где они частично ионизуются. Положительные ионы пара, двигаясь к поверхности изделия ( с отрицательным потенциалом), ускоряются и при встрече передают ей свою энергию, что способствует улучшению структуры и адгезии покрытия по сравнению с термическим испарением без ионизации. Поскольку при ионном напылении происходит рассеяние атомов и ионов испаряемого материала атомами и ионами газа, создается возможность получать покрытия на поверхностях, которые не находятся на пути прямолинейного движения частиц. Скорость такого испарения достигает 10 - 100 мкм / сек. Скорость нанесения покрытий термическим и электроннолучевым испарением, а также сочетанием их - 1 - 100 мкм / мин. [2]

Шлюзовое устройство для загрузки шихты в печь ( рис. 45) состоит из бункера-воронки / и промежуточного цилиндрического бункера 2, которые закрываются снизу конусными затворами. Промежуточный бункер при этом оказывается закрытым сверху и снизу, что предотвращает прорыв печных газов на площадку обслуживания. Основание нижнего конуса срезано так, что образует спиральную линию ( рис. 46), поэтому конус называется спиралеобразным. К нему прикрепляется специальный отбойник. При загрузке куски шихты, ударяясь об отбойник, летят к оси печи, в то время как с образующей конуса они направляются к ее стенкам. Различная длина образующей и наличие отбойника обеспечивают попадание шихты по всему сечению от стенки до оси шахты. [3]

Шлюзовое устройство в это время находится в положении запуск. Состав проходит датчик СЛ2, сигналом с которого триггер Э1 переключается в нулевое состояние, а триггеры Э2 и Э13 - в единичное. [4]

Шлюзовые устройства и конвейер обеспечивают транспортирование и выгрузку подложек без специальной технологической тары-спутника, поэтому равномерность электрического поля между электродами не нарушается, и достигается более равномерное распыление. Конвейер постоянно находится в вакууме, что увеличивает чистоту процесса. В магазине загрузки размещаются 360 подложек, его конструкция обеспечивает съем и замену любого из четырех секторов магазина и выгрузки. Перемещение подложек осуществляется поштучно с циклом 1 5 - 10 с в автоматическом режиме. [5]

Однако шлюзовое устройство позволяет загружать в тигель материал только в форме стержней. Такой формой обладает поликристаллический кремний, полученный водородным восстановлением хлорсиланов. Наиболее просто, без внесения загрязнений, эта операция Осуществляется методом термоудара, при котором подлежащий измельчению кремний нагревают до 750 СС, а затем быстро охлаждают погружением в деонизованную холодную воду. Такой гранулированный материал загружают в тигель во время охлаждения в шлюзовой камере выращенного в предыдущем процессе монокристалла. Для этого применяют помещенное в герметичной камере устройство, состоящее из бункера, в нижней части которого находится вибропитатель, подающий гранулированный кремний на лоток, из которого он ссыпается в тигель. [6]

Тамбуры-представляют собой небольшие шлюзовые устройства, которыми оборудуются входы в здания. Для повышения эффективности защитных свойств в особо холодных климатических условиях тамбуры должны располагаться с наветренной стороны здания или в стенах, расположенных параллельно направлению зимних ветров. В этих случаях они могут выполняться в виде нескольких шлюзов, последовательно расположенных друг за другом, или с несколькими поворотами, или с устройством тепловой завесы. [7]

В исходном состоянии шлюзовое устройство находится в положении приема. Триггер Э1 ( рис. 117, а) переключен в нулевое состояние, а Э2 и Э13 - в единичное. [8]

Для разгрузки применяют аналогичное шлюзовое устройство. [9]

Трубчатый электронагреватель. [10]

При сквозной конструкции шлюзового устройства, изображенного на рис. 3 - 50, действие атмосферного давления на поршень уравновешивается. [11]

Разработан также вариант со шлюзовым устройством для ввода ПСНО в трубопровод. [12]

Сетку с препаратом вводят через шлюзовое устройство в камеру объектов колонны микроскопа. Происходящая при этом карбонизация поверхности полимерной пленки-подложки значительно повышает ее устойчивость к действию электронного пучка большей интенсивности. Затем увеличивают интенсивность пучка и просматривают весь препарат при небольшом увеличении ( 5000 - 10000 раз), выбирая участок, наиболее подходящий для съемки. После этого устанавливают необходимое рабочее увеличение, наводят на резкость и фотографируют. Данную операцию повторяют 2 - 4 раза, исследуя разные участки пленки. При этом общее число отснятых частиц должно быть не менее тысячи. Операции проявления фотопластинок и получения фотоотпечатков проводят под руководством лаборанта. [13]

Принципиальная схема установки для диффузионной сварки в вакууме. [14]

Детали подаются по конвейеру через шлюзовое устройство в камеры, в которых создается предварительный вакуум, а затем попадают в рабочую камеру. После сварки детали через камеры с уменьшающимся вакуумом и второе шлюзовое устройство поступают на разгрузочный стол. [15]

Страницы: 1 2 3 4