Cтраница 4
Принципиальная схема установки бестигельной зонной плавки с радиационным нагревом представлена на рис. 6.11. Диаметр обрабатываемого слитка зависит от свойств материала. Так, для кремния, устойчивое многократное проведение процесса зонной плавки возможно при диаметре слитка, не превышающем 20 мм. Поэтому производительность метода невелика. Основным недостатком бестигельной зонной плавки является трудность управления величиной температурного градиента, формой фронта кристаллизации и условиями затравления. Это приводит к тому, что выращенные монокристаллы обладают довольно высокой плотностью дислокаций и неравномерным распределением примесей по сечению кристалла. Главным преимуществом этого метода является возможность получения материалов очень высокой чистоты. [46]