Cтраница 1
Фотоштампы снабжаются автоматическим устройством для перемещения стола с фотопластинами на заданный шаг, проведения необходимого числа мультипликаций по строкам и столбцам, задания времени экспозиции индивидуально для каждою фотошаблона. [1]
Мультипликация производится в фотоповторителях ( фотоштампах), где в промежутках между экспонированием каждого участка перемещают пластину эталонного фотошаблона с шагом, соответствующим размеру кристалла микросхемы. Существуют также многопозиционные фотоштампы с многолинзовыми объективами, дающие одновременно большое число изображений, что ускоряет процесс. С эталонного шаблона методом контактной печати изготовляют рабочие шаблоны, которые и используют в процессе фотолитографии. При наложении шаблона на полупроводниковые пластины его поверхность повреждается и шаблон изнашивается. [2]
В табл. 29 приведены основные характеристики фотоповторителей ( фотоштампов), предназначенных для получения эталонных фотошаблонов путем многократной проекционной фотопечати ( мультипликации) изображения промежуточного негатива. На многопозиционных фотоповторителях изготавливают одновременно все фотошаблоны, входящие в комплект. Это позволяет повысить производительность процесса и улучшить совмещаемость фотошаблонов комплекта. [3]
Большинство других участков, которые мы осмотрим, таких как мультиплицирования на фотоповторителях и фотоштампах, отмывки стеклянных пластин, вакуумного напыления характеризуются незначительным применением горючих материалов, в первую очередь этилового и изопропилового спирта, ацетона. Категория всех участков Д, а помещения не являются взрыве - и пожароопасными по ПУЭ. Для сохранения названной категории необходимо знать, что в аварийной ситуации на каждые 100 м2 площади участка при высоте потолков 4 2 м может быть разлито 9 - 10 л ЛВЖ, используемых для отмывки деталей и заготовок. [4]
Одним из факторов, ухудшающих совмещаемость фотошаблонов, изготовленных на многоместных фотоштампах, является непрямолинейность направляющих стола, которая обусловливает различные линейные смещения и развороты изображений в разных позициях фотоштампа. При использовании аэростатических направляющих достигается прямолинейность хода кареток не хуже 0 1 мкм. Другим фактором ( как и в одноместном фотоштампе) является погрешность базирования изображения оригинала относительно направления перемещения в каждой позиции фотоштампа. Разворот изображений, одинаковый в пределах одного фотошаблона, оказывается различным в различных фотошаблонах комплекта, что и ухудшает их совмещаемость. [5]
Мультипликация производится в фотоповторителях ( фотоштампах), где в промежутках между экспонированием каждого участка перемещают пластину эталонного фотошаблона с шагом, соответствующим размеру кристалла микросхемы. Существуют также многопозиционные фотоштампы с многолинзовыми объективами, дающие одновременно большое число изображений, что ускоряет процесс. С эталонного шаблона методом контактной печати изготовляют рабочие шаблоны, которые и используют в процессе фотолитографии. При наложении шаблона на полупроводниковые пластины его поверхность повреждается и шаблон изнашивается. [6]
Одним из факторов, ухудшающих совмещаемость фотошаблонов, изготовленных на многоместных фотоштампах, является непрямолинейность направляющих стола, которая обусловливает различные линейные смещения и развороты изображений в разных позициях фотоштампа. При использовании аэростатических направляющих достигается прямолинейность хода кареток не хуже 0 1 мкм. Другим фактором ( как и в одноместном фотоштампе) является погрешность базирования изображения оригинала относительно направления перемещения в каждой позиции фотоштампа. Разворот изображений, одинаковый в пределах одного фотошаблона, оказывается различным в различных фотошаблонах комплекта, что и ухудшает их совмещаемость. [7]
Одним из факторов, ухудшающих совмещаемость фотошаблонов, изготовленных на многоместных фотоштампах, является непрямолинейность направляющих стола, которая обусловливает различные линейные смещения и развороты изображений в разных позициях фотоштампа. При использовании аэростатических направляющих достигается прямолинейность хода кареток не хуже 0 1 мкм. Другим фактором ( как и в одноместном фотоштампе) является погрешность базирования изображения оригинала относительно направления перемещения в каждой позиции фотоштампа. Разворот изображений, одинаковый в пределах одного фотошаблона, оказывается различным в различных фотошаблонах комплекта, что и ухудшает их совмещаемость. [8]
Одним из факторов, ухудшающих совмещаемость фотошаблонов, изготовленных на многоместных фотоштампах, является непрямолинейность направляющих стола, которая обусловливает различные линейные смещения и развороты изображений в разных позициях фотоштампа. При использовании аэростатических направляющих достигается прямолинейность хода кареток не хуже 0 1 мкм. Другим фактором ( как и в одноместном фотоштампе) является погрешность базирования изображения оригинала относительно направления перемещения в каждой позиции фотоштампа. Разворот изображений, одинаковый в пределах одного фотошаблона, оказывается различным в различных фотошаблонах комплекта, что и ухудшает их совмещаемость. [9]
Из готового оригинала контрольные фотошаблоны получают масштабным фотографированием на фоторепродуционных полиграфических камерах типа ФГ-ЗМ, ПП-12 и ЭМ-513 ( СССР), Климш ( ФРГ) и других с объективами, имеющими высокую разрешающую способность. Рабочие фотошаблоны изготавливают с контрольных способом контактной печати. Если ТП предусматривает обработку групповой заготовки ( при размерах ПП до 100 мм), то на специальном оборудовании ( фотоштампах) методом мультипликации получают групповой фотошаблон с точным расположением рисунков рядами и строками, общими элементами совмещения и общим машинным нулем отсчета координат программного сверления отверстий. [10]