Cтраница 2
Последнее очень важно, так как при малых слоях зона стабилизации может быть равной высоте слоя. Следовательно, для того чтобы характер газового потока установился, необходима определенная высота слоя. [16]
Наилучший характер истечения газовой струи обеспечивают сопла с цилиндрической формой выходного отверстия, несколько хуже - сопла с конической формой. Имеются данные о положительном влиянии на характер газового потока так называемых газовых линз - пористых перегородок, помещаемых на выходе струи из сопла. [17]
При выборе давления газа-носителя на входе колонки необходимо учитывать, что эффективность разделения повышается с увеличением давления при IH - - PH опт - Кроме того, с увеличением давления уменьшается диффузия в газовой фазе, что также способствует повышению эффективности разделения. Очевидно, что максимальное значение давления ограничивается возможностями аппаратуры и характером газового потока в колонке. [18]
При любом механизме участия подложки в процессе осаждения непрерывность процесса зависит от взаимной диффузии в паре подложка-покрытие. Так как в твердых телах диффузия значительно медленнее газофазной массопередачи, параметры ее ( концентрация, скорость, характер газового потока) при взаимной диффузии практически не влияют на равномерность покрытий. [19]
Однородность толщины зпитаксиальных слоев определяется температурой осаждения и концентрацией реагентов в реакторе. Они должны быть настолько низкими, чтобы обеспечить, во-первых, протекание процесса осаждения в кинетической области, где скорость осаждения не зависит от скоростей и характера газовых потоков вблизи поверхности осаждения, и, во-вторых, допустимо низкую скорость роста эпитаксиального слоя. [20]
Это означает, что скорость обмена газом между пузырями и непрерывной фазой ограничена и что в непрерывной фазе происходит некоторое продольное перемешивание газа. При низком расходе газа, когда размеры пузырей невелики, возможна относительно высокая скорость межфазного обмена газом. Тогда общая конверсия зависит как от характера газового потока через непрерывную фазу, так и от объема газа, байпассирующего через слой с пузырями. Наоборот, при больших расходах газа и высоких значениях числа реакторных единиц ( &) газовые пузыри должны быть больше, что приводит к понижению скорости межфазного обмена газом. В этом случае общая скорость процесса определяется в основном долей газа, байпассирующего через слой с пузырями, а в непрерывной фазе реакция практически завершена. [21]
Очень важно, чтобы приборы обладали высокой чувствительностью и имели достаточную скорость записи. По обычной методике в слой помещают неподвижный датчик, а пузыри пропускают мимо него по различным, заранее известным траекториям. Имея серию кривых давление - время ( эквивалентных кривым давление - координата пузыря), можно построить поля скоростей и давлений около пузыря 17 18; типичный пример приведен на рис. IV-5. Это весьма трудоемкая техника, требующая большой тщательности, но она позволяет получить важную информацию о характере газового потока вокруг пузырей, что необходимо для понимания их природы. [22]