Cтраница 4
Меньшие, чем у хлорида титана, теплота адсорбции и реакционная способность хлорида кремния приводят к тому, что реакция взаимодействия SiCU с поверхностными гидроксильными группами активируется только при температурах выше 480 К. Однако при таких температурах начинают интенсивно проходить процессы дегидроксилирования поверхности. Активацион-ный барьер реакции между тетрахлоридом кремния и поверхностной гидроксильной группой можно значительно понизить, если воздействовать на гидроксильную группу электронодонор-ным реагентом, например триэтиламином. Это позволяет уменьшить температуру процесса химической сборки пленок оксида кремния и проводить ее в условиях гидроксилированной поверхности. [46]
Необходимо отметить, что в литературе нет единого принципа оценки эффективности методов очистки хлоридов кремния. Некоторые исследователи оценивают чистоту получаемого кремния числом атомов-примесей на миллион атомов основного вещества, другие исходят из электрофизических свойств монокристаллов, выращенных по методу Чохральского, третьи - из электрофизических свойств монокристаллов, полученных методом бестигельной зонной плавки. [47]
При газофазной эпитаксии кремния, которая производится при высокой температуре, происходит восстановление хлорида кремния в атмосфере водорода или термическое разложение силана. [48]
Методы получения аэросила из четыреххлористого кремния состоят в том35 37, что пары хлорида кремния подвергаются гидролизу в пламени водорода или в пламени природного газа. [49]
В настоящем сообщении излагаются результаты газохроматографического определения примесей органических и неорганических веществ в хлоридах кремния и фосфора. [50]
Определение кремния в черных металлах основано на образовании при растворении в кислотах силанов или хлоридов кремния, которые тотчас же подвергаются гидролизу, образуя кремниевую кислоту. [51]
Силикагель можно также получать пирогенным методом; так, например, получают аэросил из хлорида кремния. [52]
Исходя из анализа данных о равновесии жидкость-пар, в работе [55] предложено разделить сопутствующие хлориду кремния примеси на две группы: к первой отнести неполярные и малополярные вещества, для которых коэффициенты разделения можно приблизительно оценить по уравнениям регулярных растворов ( уравнение Гильдебранда); во вторую группу включить сильнополярные примеси, для которых коэффициент разделения при современном состоянии теории растворов не удается рассчитать по данным о свойствах индивидуальных компонентов и требуется экспериментальное определение. Коэффициент разделения в системе SiCl4 - примесь ВС13 равен 2, причем ВС13 концентрируется в паре, в присутствии пятихлористого фосфора коэффициент разделения для ВС13 становится равным 50 и ВС13 концентрируется в жидкости. При получении чистого кремния с удельным сопротивлением от 50 до 100 Ом-см очистка хлоридов кремния может осуществляться в стеклянных или стальных ректификационных колоннах. Для кремния более высокой чистоты рекомендуется использовать кварцевые ректификационные колонны. [53]