Cтраница 1
Хлорирование кремния способствует снижению температуры образования метилтрихлорсилана при реакции кремния с хлористым метилом на 250 С. Сходная картина наблюдается при образовании диметилдихлорсилана как на кремнии, так и на кремнемедном сплаве. [1]
Процессы хлорирования кремния, титана, бора становятся возможными при комнатной температуре только в механическом активированном состоянии. [2]
Получается хлорированием кремния, ферросилиция или смеси кремнезема с углем при высокой температуре. [3]
Тетрахлорсилан получается хлорированием кремния при высокой температуре. [4]
Имеется ряд патентов по хлорированию кремния и его сплавов в аппаратах кипящего слоя. Роль инертных добавок сводится к предотвращению спекания шихты образующимися в небольших количествах хлоридами щелочных и щелочноземельных металлов. [5]
Известно, что при хлорировании кремния и силицидов выделяется много тепла, что затрудняет создание высокопроизводительных реакторов. В связи с этим усилие исследователей направлены на поиски условий, благоприятствующих отводу избыточного тепла. Предложен [48] способ хлорирования ферросилиция в расплаве хлоридов железа и щелочных металлов. [6]
Тетрахлорид кремния SiCI, получают хлорированием кремния при 400 - 500 С. Реакцию можно проводить в приборе дли получения мопохлорнда серы ( см. рис. 43), заменив реторту 1 кварцевой колбой. В качестве реактора можно пользоваться также фарфоровой или кварцевой трубкой; в этом случае кремния берут для хлорирования не больше 10 - 15 г п помещают в реактор в лодочке. [7]
![]() |
Зависимость стоимости Si от степени очистки, используемая для выделения марки солнечного кремния, применяемого в дальнейшем для выращивания кристалла. [8] |
Газ SiCl4, образующийся при хлорировании кремния в жидкой ванне, дистиллируют примерно при 58 С ( в ряде случаев применяют промежуточные операции очистки) и затем осаждают на нагретые подложки из кварца или тантала, а чаще на стержни из кремния, нагретые с помощью ВЧ-индукционной печи в присутствии водорода примерно при 950 С. [9]
Тетрахлорсилан ( четыреххлористый кремний) получается хлорированием кремния при высокой температуре. [10]
Наиболее надежным препаративным методом синтеза тетрахлорида кремния является хлорирование кремния или ферросилиция. Температуру в реакционной зоне следует поддерживать не ниже 500 С, чтобы образование полихлорсиланов было минимальным. [11]
Соотношение компонентов в шихте подбирают таким образом, чтобы количество тепла, выделяющееся при хлорировании кремния, соответствовало бы количеству тепла / необходимому для инициирования и поддержания эндотермической реакции хлора с двуокисью кремния и углеродом. Это позволяет вести автотермический процесс при постоянной температуре без отвода тепла. [12]
Основным промышленным способом получения SiCl4 как в Советском Союзе, так и за рубежом является хлорирование кремния, ферросилиция или карбида кремния в шахтных печах. Некоторое количество четыреххлориетого кремния получают в качестве побочного продукта в производствах хлоридов титана, алюминия и циркония. [13]
Хлорирование карбонитрида имеет ряд существенных преимуществ перед хлорированием циркона: низкая температура хлорирования позволяет упростить конструкцию печи, не нужен подвод тепла, не расходуется хлор на хлорирование кремния, улучшаются условия конденсации ZrQ4 вследствие уменьшения объема газов. [14]
Хлорирование карбонитрида имеет ряд существенных преимуществ перед хлорированием циркона: низкая температура хлорирования позволяет упростить конструкцию печи, не нужен подвод тепла, не расходуется хлор на хлорирование кремния, улучшаются условия конденсации ZrCl4 вследствие уменьшения объема газов. [15]