Цикл - подача
Cтраница 4
В промежутках между подачами реагентов в digital CVD процессах происходит откачка реактора или его продувка инертным газом. Основной характеристикой процессов ХОГФ с дискретной подачей реагентов является толщина пленки, получаемая на подложке за один цикл осаждения, включающий по одному циклу подачи каждого реагента и два цикла откачки или продувки инертным газом реактора между ними. Таким образом, пленки в процессах ХОГФ с дискретной подачей реагентов наносятся послойно в каждом цикле осаждения, и общая толщина пленки легко и точно задается и контролируется по количеству циклов осаждения. [46]
Во всех этих применениях с целью получения оптимального теплового и материального баланса создаются потоки циркулирующих твердых материалов, аналогичные жидким потокам при обработке обычных жидкостей. При проектировании процессов такого рода необходимо иметь точные технологические и механические характеристики применяемой аппаратуры; для создания эффективно действующих установок требуется детальный технический анализ каждой фазы цикла подачи твердых материалов. [47]
При выполнении проектировочного расчета предварительно выбирают тип делительного механизма, характеризующийся такими параметрами, как передаточное отношение ( число остановов выходного вала за его полный оборот), точность деления, безразмерный коэффициент ускорения выходного вала, угол поворота выходного вала, в течение которого осуществляется цикл подачи. [48]
При отключенном компрессоре и открытых задвижках а и б баллон заполняется водой. Закрыв задвижки а и б, открывают задвижку в и, включив компрессор, вытесняют воду в бак. Цикл подачи осуществляется периодически. [49]
 |
Схема работы эрлифта. [50] |
Для подъема и перемещения жидкостей иногда применяют пневматические подъемники, в которых в качестве ра-бочей среды используют сжатый воздух Или технический газ. Пневматический подъемник периодического действия показан на рис. 1.9. Подъем жидкости из резервуара 1 на высоту Нр в бак. Цикл подачи осуществляется периодически. [51]
По сравнению с однопутным слитковозом, который был на блюминге до реконструкции, кольцевая слиткоподача имеет существенные преимущества. Прежде всего время цикла подачи слитка на приемный рольганг сократилось с 70 - 75 до 55 - 60 сек; IB случае неполадок на одном из слитковозов подача слитков не прекращается, так как схемой предусмотрена работа любой одной тележки в челночном режиме, что практически равноценно старому слигковозу. [52]
При помощи загрузочного устройства 8 автоматически осуществляется загрузка пустых баллонов на вращающуюся карусель. Загрузочное устройство устанавливает баллоны в гнездо каждого весового автомата таким образом, что как только ось гнезда весового автомата подойдет к оси приводного рольганга 7 на 150 мм, толкатель начнет подавать баллон с рольганга к рращающейся карусели. Когда ось гнезда весового автомата подходит к оси рольганга, цикл подачи; заканчивается. Баллон находится в гнезде весового автомата, и толкатель останавливается, запирая тем самым самопроизвольное перемещение следующего баллона. [53]
Смазка в подшипник подается через отдельный питатель требуемой емкости. Дозирование смазки осуществляется регулированием хода поршня питателя, расположенного на двойной линии трубопроводов в непосредственной близости от узлов трения. С помощью реверсивного клапана каждый из двух трубопроводов поочередно сообщается то с нагнетательной частью насоса, то со всасывающей, что дзет возможность разгружать нагнетающий трубопровод от давления после окончания цикла подачи смазки, реверсировать золотники и поршни питателей и переключать реверсивный клапан станции смазки. [54]
Поршень, двигаясь вниз, захватывает порцию шихты, поступающей из бункера через кольцевую щель, и продвигает весь столб шихты, находящийся в реакторе и теплообменнике. Поскольку в начале процесса зона нагрева отделена от приемных устройств пружинным клапаном 12, под действием поршня происходит уплотнение всего столба шихты. При его возвращении под действием пружин в крайнее верхнее положение образуется незаполненный объем в теплообменнике, куда и поступает шихта через кольцевой канал из бункера. При новом движении поршня вниз весь цикл подачи шихты и ее уплотнения повторяется. Шихту уплотняют до тех пор, пока противоположно направленные усилия, создаваемые поршнем и пружинным клапаном, не уравновесят друг друга. Пружинный клапан начинает приоткрываться, что служит сигналом для включения высокочастотного нагрева по команде с конечного выключателя; одновременно отключается толкатель и прекращается подача шихты в реактор. При совершении рабочего цикла поршня 4 взаимное расположение последнего и кольцевого затвора должно быть таким, чтобы кольцевая щель при нижнем положении поршня не находилась над верхней его плоскостью. Схема автоматики не позволяет при открытом кольцевом затворе опускать поршень движением штока 9 ниже указанного уровня. Одновременно с командой на включение высокочастотного нагрева схемой автоматики подается команда на включение сжигателя 24 - Без включенного сжигателя невозможно включить высокочастотный нагрев. Под действием быстропеременного электромагнитного поля индуктора 2 происходит постепенный разогрев шихты в реакторе, температура в котором повышается с возрастающей скоростью благодаря изменению электрофизических параметров загрузки. [55]
Страницы: 1 2 3 4