Воспроизведение - профиль
Cтраница 3
 |
Инструмент для ульт - [ IMAGE ] Схема электроискровой. [31] |
В место контакта инструмента с обрабатываемой пластиной непрерывно подают абразивную суспензию. При колебаниях инструмента в жидкости возникают кавитацион-ные явления, заключающиеся в образовании и исчезновении ( схлопывании) кавитационных пузырьков. В момент схлопы-вания пузырька частички абразива на его стенках получают большую кинетическую энергию и, ударяясь о поверхность полупроводника, постепенно разрушают ее. Интенсивность кавитации выше на выступах инструмента, вследствие чего поверхность пластины под выступом разрушается с большей скоростью. При обработке на небольших глубинах ( до 1 - 1 5 мм) профиль поверхности с достаточно высокой точностью воспроизводит профиль инструмента. На больших глубинах точность воспроизведения профиля снижается за счет увеличения роли боковой кавитации. Другими факторами, влияющими на точность УЗ-обработки, являются износ инструмента, размер зерен абразива, а также характеристики оборудования. [32]
Страницы: 1 2 3