Время - травление
Cтраница 4
 |
Зависимость времени травления от времени отжига пленки. [46] |
Уменьшение времени травления с увеличением скорости конденсации пленки может быть объяснено меньшим влиянием различного рода примесей, захваченных из состава остаточных газов в рабочей камере установки в процессе напыления. С ростом времени напыления возрастает количество газов, сорбированных материалом пленки, что ведет к неравномерности ее структуры и увеличению времени травления. [47]
Рекомендуется во время травления на короткое время переключать питание с постоянного тока на переменный, после чего снова проводить процесс при постоянном токе. [48]
При этом время травления может быть сокращено вдвое. [49]
Образующийся во время травления коричневый осадок смывают до тех пор, пока не будет достигнут требуемый контраст. [50]
Так как время травления плат выбирается применительно к вытравливанию самой толстой части покрытия, то неизбежно краевое подтравливание в областях с минимальной толщиной. Это подтверждает измерение глубины краевых дефектов: если в областях с максимальной толщиной они отсутствуют, то с уменьшением толщины покрытия глубина их растет и становится максимальной в областях минимальной толщины. [51]
С изменением времени травления в растворе НС1 изменяется глубина пор в зернах пористого стекла, что позволяет получать как объемно-пористые, так и поверхностно-пористые стекла. Средние размеры пор при этом практически не изменяются, меняется лишь глубина пористого слоя. Поверхностно-пористые адсорбенты удобны для быстрых разделений. [52]
С увеличением времени травления в серной кислоте ( от 5 до 45 минут с промежуточными промывками) изменяется рельеф поверхности образцов и увеличивается их истинная поверхность. [53]
Для сокращения времени травления поддерживают высокую температуру травильного состава 80 - 90 С, однако и при этом время травления составляет 30 - 90 мин. В качестве травильной присадки хорошо себя зарекомендовала плавиковая кислота, так же как и сульфат трехвалентного железа. Иногда применяется и анодное травление в концентрированной соляной кислоте. [54]
Страницы: 1 2 3 4