Cтраница 5
Удельное сопротивление материала пленки изменяется в процессе эксплуатации и хранения микросхемы вследствие постепенного изменения структуры пленки и ее окисления. С увеличением нагрузки ( мощности рассеяния) и повышением рабочей температуры интенсивность старения материала возрастает. [61]