Cтраница 3
Различают абсолютный, сравнительный и технический интерференционные методы. Первый метод используется при измерениях с помощью бесконтактных интерферометров, второй - при измерениях на бесконтактных и контактных интерферометрах, третий - при измерениях посредством плоских оптических пластин. [31]
Концевые меры 1-го разряда длиной до 100 мм аттестуют абсолютным интерференционным методом, например с помощью интерференционного компаратора Кестерса. Концевые меры 3-го разряда длиной до 100 мм аттестуют относительным интерференционным методом по мерам не ниже 2-го разряда на контактном интерферометре Уверского. [32]
Погрешность проволочек нулевого класса составляет от 0 25 до 0 50 мкм, а первого класса - от 0 5 до 1 мкм. Размер М по проволочкам ( рис. 8.11 0) измеряют гладким микрометром, горизонтальным и вертикальным длиномерами, горизонтальным оптиметром и горизонтальным и вертикальным контактными интерферометрами. [33]
Оптический нутромер. [34] |
В массовом производстве для контроля цилиндрических изделий малых размеров применяют электроконтактные и рычажно-зубча-тые головки, контактно-проекционные и проекционные устройства. При точных измерениях малых наружных диаметров, но при относительно высокой жесткости деталей могут быть использованы вертикальный и горизонтальный оптиметры с ценой деления 0 2 мкм и вертикальный и горизонтальный контактные интерферометры. При контроле диаметров малых отверстий применяются аттестованные проволочки диаметром от 0 5 до 3 мм, пневматические приборы высокого и низкого давлений с пропусканием воздуха непосредственно через отверстия при диаметрах до 0 5 мм, оптические нутромеры для диаметров отверстий от 2 мм. Контролируемая втулка 6 располагается на предметном столе 7 Цена деления прибора / 1 мкм. Предельная погрешность показаний не-превышает цены деления. [35]
Действие этих приборов основано на использовании явления интерференции световых волн. Интерферометры для линейных измерений делят на контактные и бесконтактные. Контактные интерферометры, разработанные И. Т. Уверским, имеют переменную ( регулируемую) цену деления от 0 05 до 0 2 мкм. Таким образом, на рабочей поверхности пластины 6 обе части пучка света интерферируют при небольшой разности хода. [36]
Прецизионные измерительные системы могут быть аттестованы на контактном интерферометре типа АИУ-1, разработанном ВНИИМС, для поверки показаний измерительных головок с ценой деления шкалы от 0 01 до 0 2 мкм. В контактном интерферометре ( рис. 60) используется трубка 10 с двойным изображением полос интерференции света, имеющая экранную насадку. Ручка 3 стопорит кронштейн в выбранном положении. [37]
Меньший тепловой скачок и меньшее смещение показаний, по данным того же автора, наблюдаются у приборов, не имеющих встроенных источников теплоты. У оптикаторов и контактных интерферометров смещение последействия достигает 0 15 мкм, в то время как для микрокаторов с ценой деления 0 1 мкм оно не более 0 05 мкм. Полученные данные соответствуют общим представлениям о характере поведения системы при разрыве ее теплопро-водящей цепи. Однако при анализе следует учитывать эффективную площадь контакта измерительного наконечника. [38]
В 1946 г. на заводе Калибр создан контактный интерферометр. В 50 - е гг. в СССР разработаны дифференциальные пневматические приборы высокого давления. [39]
Наилучшими из этих приборов являются оптикаторы. Однако все перечисленные приборы ( как зарубежные так, и отечественные) имеют меньший масштаб увеличения и требуют применения большего измерительного усилия, нежели контактные интерферометры. [40]
Контактные интерференционные компараторы, разработанные И. Г. Уверским, предназначаются для измерения концевых мер длины сравнительным методом. По ГОСТу 8290 - 57 предусмотрены два типа интерферометров - вертикальные ИКПВ ( рис. 11.42, о) и горизонтальные ИКПГ. Основным узлом обоих типов интерферометров является трубка интерферометра. Отличительным преимуществом контактного интерферометра является устройство для изменения цены деления шкалы в пределах от 0 05 до 0 2 мкм. [41]
По направляющей стойки может перемещаться с помощью кремальеры 9 кронштейн 8, несущий трубку 7 интерферометра. Винт 6 позволяет сдвигать шкалу трубки в пределах 10 делений. Модификация контактного интерферометра с экраном значительно облегчает отсчет по шкале прибора. Применяют также лазерные интерферометры с цифровым отсчетом. [42]