Выращивание - монокристалл - кремний
Cтраница 1
Выращивание монокристаллов кремния из расплава в промышленных условиях осуществляют по методу Чохральского и бестигельной зонной плавкой. В 1988 г. - 85 % от общего объема производства монокристаллов кремния было выращено по методу Чохральского и 15 % бестигельной зонной плавкой. [1]
 |
Скоростные зависимости ft и fk легирующей примеси фосфора в кремнии. [2] |
Выращивание монокристаллов кремния методом бестигель - 0001 ной зонной плавки иногда необходимо проводить в высоком ва - о кууме. [3]
Выращивание монокристаллов кремния методом БЗП производят на установках, имеющих высокочастотный способ нагрева расплава в зоне. В комплект установки входят печной агрегат ( рис. 4.55, а), пульт управления автоматическими устройствами установки и высокочастотный генератор. Последний обычно состоит из одного-двух генераторных блоков и блока-выпрямителя. Поэтому установки БЗП более громоздки и занимают больше площади, чем установки для выращивания монокристаллов кремния методом Чохральского. [4]
Тепловые условия выращивания монокристаллов кремния при бестигельной зонной плавке непостоянны. [5]
 |
Схемы выращивания монокристаллов кремния из расплава. [6] |
В установках для выращивания монокристаллов кремния чрезвычайно сложно создать строго симметричное тепловое поле в расплаве. Практически в расплаве всегда имеются области с разной температурой. [7]
 |
Схемы потоков в расплаве кремния в зависимости от скорости вращения кристалла ок и тигля UT. [8] |
Современная установка для выращивания монокристаллов кремния по методу Чохральского является сложным комплексом технических средств, который состоит из камеры с механизмами вращения и перемещения верхнего и нижнего штоков, вакуумного агрегата, системы электропитания, блока очистки, подачи и регулирования расхода инертного газа, блока водяного охлаждения и системы автоматического управления процессом. [9]
 |
Схема установки полунепрерывного действия для выращивания крупных монокристаллов кремния из расплава небольшой массы. [10] |
Мощные установки для выращивания монокристаллов кремния большой массы укомплектовывают манипуляторами. Они извлекают выращенный монокристалл из шлюзовой камеры установки и транспортируют его к установкам автоматического измерения удельного сопротивления. [11]
Кроме приведенных методов выращивания монокристаллов кремния, также известны попытки использовать способ Степанова [20] для выращивания монокристаллов кремния различной формы. Принципиально этот способ сводится к применению специальной ( обычно графитовой) пластины ( фильеры) с отверстием необходимой формы, сквозь которое поднимается капля расплава. Форма капли расплава соответствует форме отверстия. Монокристалл вытягивают с помощью затравки из этой капли, жидкость в которую все время поступает из расположенного под пластиной расплава. К сожалению, пока не найден материал для пластины, который бы не взаимодействовал с расплавленным кремнием. Это обстоятельство является главным препятствием применения способа Степанова в технологии кремния. [12]
Важной операцией в процессе выращивания монокристаллов кремния является затравление. [13]
Аппаратчики, обслуживающие установки выращивания монокристаллов кремния, должны иметь квалификационную группу злектробезопасности. Она предусматривает [298] элементарное техническое знакомство с электроустановками, отчетливое представление об эпасности электрического тока и приближения к токоведущим частям, шание основных мер предосторожности при работах с электроустановками, а также практические навыки оказания первой помощи пострадавшим от электрического тока. [14]
Более сложным является метод выращивания монокристаллов кремния в виде усов, который состоит в следующем. Отмеренные порции чистого кремния и соответствующих примесей помещают в кварцевую капсулу, из которой предварительно выкачивают воздух. Затем капсулу помещают в печь, где устанавливается и поддерживается определенный перепад температур на капсуле. Пары кремния, образуемые в сильно нагретой части капсулы, конденсируются в менее нагретой части капсулы в виде прочных и гибких игл - усов с шестигранным поперечным сечением. [15]
Страницы: 1 2 3 4