Cтраница 2
![]() |
Схема приспособления для проверки ножек и баллонов на герметичность компрессионным методом. [16] |
Измеряемая величина ионного тока является мерилом содержания молекул определенного газа или пара в смеси. Для масс-спектрометрического газоанализатора рабочим условием является разрежение не ниже 10 - 4 тор ( мм. [17]
Масс-спектрометрический газоанализатор МСХ-3 построен на основе времяпролетного масс-анализатора, принцип действия которого изложен в начале главы. Пространство дрейфа в масс-спектрометрическом газоанализаторе МСХ-3 имеет длину 400 мм. [18]
В Советском Союзе выпускается времяпролетный масс-спектро-метрический газоанализатор МСХ-3 для вакуумной промышленности с электронным умножителем. Кроме того, был выпущен масс-спектрометрический газоанализатор МХ5201 для анализа газов в промышленности. [19]
В частности, обеспечивается фокусировка ионов как по направлению, так и по энергиям, что существенно улучшает форму линий масс-спектра. В Советском Союзе имеется образец масс-спектрометрического газоанализатора с циклоидальной фокусировкой типа MX 1202, предназначенного для анализа сложных газовых смесей. [20]
После установки рабочего режима газоанализатора проводится его градуировка, заключающаяся в определении чувствительности прибора к разным газам. В систему с датчиком газоанализатора последовательно напускают ряд известных газов. При нескольких значениях давления впущенного газа определяется чувствительность - отношение приращения выходного сигнала газоанализатора к соответствующему приращению давления данного газа. Давление газа в диапазоне 10 - 2 - 10 - 8 Па наиболее удобно определять по ионизационному вакуумметру. Определив указанным образом среднюю чувствительность масс-спектрометрического газоанализатора по одному газу, можно ( см. приложение 10) подсчитать его ориентировочную относительную чувствительность для некоторых других газов. [21]