Cтраница 2
Для качественного проведения процессов фотолитографии и изготовления фотошаблонов необходимы особо чистые производственные условия. Поэтому все процессы проводят в специальных скафандрах, в которые подаются осушенные и обеспыленные газы. [16]
Под действием электрического поля высокого напряжения у поверхности коронирующих электродов в газах образуются ионы и электроны, сообщающие частицам пыли электрический заряд. Благодаря ионизации газов и зарядке частиц пыль переносится к осадительным электродам, оседает на них и отдает им свой заряд. Обеспыленные газы выходят из фильтра, а уловленная пыль при встряхивании электродов ссыпается в бункер. [17]
![]() |
Закручивание газового потока в элементе батарейного циклона. [18] |
Из числа механических пылеуловителей наиболее распространены циклонные аппараты. При этом взвешенные частички пыли отбрасываются к стенке корпуса и направляются через нижнюю конусную часть аппарата в пылесборник. Обеспыленные газы движутся снизу вверх по внутренней спирали и отводятся через осевую выходную трубу в верхней части аппарата. [19]
Сырьевая смесь гранулируется в чашевых грануляторах. Конструкция конвейерной решетки в основном такая же, как и описанная ранее. Здесь все греющие газы проходят через слой материала, находящийся на решетке горячей камеры. При этом газы обеспыливаются как за счет фильтрующей способности слоя, так и с помощью циклонов, установленных по ходу газов между горячей и холодной камерами кальцинатора. Пыль, осевшая в циклонах, возвращается через шнек и элеватор на повторную грануляцию. Обеспыленные газы соединяются в общий поток в коллекторах, а затем двумя промежуточными дымососами нагнетаются по трубопроводам в холодную камеру. [20]