Cтраница 3
В качестве источника акцепторной примеси используют порошок германия р-тииа, сильно легированный галлием до удельного сопротивления 0 01 - 0 15 ом-см. Исходный порошок может быть использован в 5 - 6 процессах. Пластины германия загружают в кварцевую лодочку и засыпают порошком легированного германия, после чего кварцевую лодочку помещают в водородную печь. [31]
Чувствительные элементы фоторезисторов на основе InSb изготавливаются из монокристаллического материала р-типа в виде пластин. Чувствительные элементы фоторезисторов, где используется примесная фотопроводимость в германии, изготавливаются в виде кубиков или параллелепипедов размером до нескольких миллиметров. Так как величина коэффициента поглощения примесной области намного меньше, чем в собственной, такие размеры чувствительных элементов позволяют более полно использовать воспринимаемое фоторезистором излучение. Контакты к чувствительным элементам из InSb и легированного германия изготавливаются обычно из золота, которое наносится электролитически или путем испарения в вакууме. [32]
![]() |
Спектральная зависимость коэффициента отражения света от образцов сильно легированного кремния. [33] |
Поэтому одинаковое уменьшение энергии этого максимума в Ge м - и р-типа на 0 03 эв, найденной в [38], является неожиданным. Для его объяснения в [39] высказано предположение об одинаковости кривизны обеих разрешенных зон вблизи границы зоны Брюл-люэна в направлении [111] в сильно легированном германии. [34]
Германий принадлежит к числу немногих полупроводников, которые можно получить с достаточной степенью чистоты для использования в качестве примесного фотоприемника. Требование чистоты обусловлено тем, что необходимо обеспечить условия, когда оптические и электрические свойства ч юто приемника определяются сознательно введенными, а не остаточными при месями. Даже в случае германия необходимо производить компенсацию малых концентраций остаточных примесей с мелкими уровнями, если необходимо использовать уровень, расположенный глубже. Как было указано в разд. На детекторах из легированного германия в принципе можно получить очень малые инерционности, хотя на практике они будут ограничены постоянной времени КС, поскольку сопротивления детекторов в общей лежат в диапазоне мегаом. [35]
При обсуждении теории процессов проводимости в легированном германии был рассмотрен ряд аналитических выражений для проводимости или удельного сопротивления, в которые входят атомные константы, концентрация или свойства примесных атомов, а также температура. Было отмечено, что, несмотря на достаточно хорошее качественное согласие с экперимен-том, эти выражения нельзя применять для количественного описания характеристик конкретных материалов: реальные процессы проводимости слишком сложны. Поэтому экспериментальные данные по зависимости сопротивления от температуры приходится аппроксимировать эмпирическим путем, не слишком полагаясь на физическую теорию, как, впрочем, и в случае платиновых термометров. Однако для германиевых термометров сопротивления эта задача оказывается намного сложнее по двум причинам. Во-первых, зависимость сопротивления от температуры меняется от образца к образцу гораздо сильнее, чем в случае платины, даже если эти образцы изготовлены ю одной технологии. Дело в том, что удельное сопротивление легированного германия очень чувствительно к количеству и свойствам примеси. [36]