Зондовая головка
Cтраница 2
На рис. 13 - 6 6 приведен пример конструкции ненастраиваемой зондовой головки, работающей в диапазоне волн 2 9 - 3 9 см. В этой головке отсутствуют подвижные элементы. [16]
О нормальной работе линии судят по следующим признакам: при настройке зондовой головки стрелка индикатора тока детектора отклоняется плавно, без скачков; перемещение каретки с зондом вдоль щели сопровождается плавным изменением показаний индикаторного прибора; при последовательной установке зонда в нескольких максимумах поля разброс показаний индикатора не превосходит значения, указанного в паспорте к линии. [17]
 |
Блок-схема системы контроля МОП-БИС. [18] |
Контроль полупроводниковой пластины с интегральными схемами включает ряд операций: подъем и опускание зондовой головки, перемещение зондовой головки от схемы к схеме, контроль каждой схемы. [19]
 |
Схема конструкции зондовой головки. [20] |
При касании всех зондов с контролируемой пластиной ( предметный столик поднят) контакты 6 всех зондовых головок размыкаются, формируя сигнал для начала контроля. [21]
 |
Блок-схема траектографа [ IMAGE ] Зонд для изме. [22] |
Поскольку ванна питается переменным током, а электронные интеграторы являются устройствами постоянного тока, между зондовой головкой и интеграторами включаются специальные линейные демодуляторы. [23]
 |
Блок-схема системы контроля МОП-БИС. [24] |
Контроль полупроводниковой пластины с интегральными схемами включает ряд операций: подъем и опускание зондовой головки, перемещение зондовой головки от схемы к схеме, контроль каждой схемы. [25]
Погрешности измерения КСВ обусловлены следующими причинами: непостоянством сечения волновода, неправильным выполнением щели, плохой экранировкой зонда, непостоянством связи зонда с линией при перемещении зондовой головки вдоль щели, шунтирующим действием зонда, отражениями от фланцевого соединения, затуханием в линии ( эта погрешность заметна в миллиметровом диапазоне), неточностью определения характеристики детектора, погрешностями идика-торных приборов. Методика определения погрешностей содержится в описаниях к измерительным линиям. [26]
 |
Принцип измерения больших КСВ. [27] |
Погрешности измерения КСВ обусловлены следующими причинами: непостоянством сечения волновода, неправильным выполнением щели, плохой экранировкой зонда, изменением связи зонда с линией при перемещении зондовой головки вдоль щели, шунтирующим действием зонда, отражениями от фланцевого соединения, затуханием в линии ( эта погрешность заметна в миллиметровом диапазоне), неточностью определения характеристики детектора, погрешностями индикаторных приборов. Методика определения погрешностей содержится в описаниях к измерительным линиям. [28]
Направляющей для каретки зондовой головки служит стальная пластина, нижняя поверхность которой, наращенная серебром, является одновременно верхней стойкой волновода. Зондовая головка выполнена в виде бикоаксиального контура, настраиваемого с помощью двух бесконтактных поршней. [29]
Регулировкой уровня мощности в линии или усиления измерительного усилителя добиваются того, чтобы отклонение указателя индикатора было достаточно большим, но не превышало половины шкалы. Затем смещают зондовую головку влево и вправо от узла до точек, в которых отклонения Ат указателя будут в m раз больше ( т 2 - 3), чем в узле. По линейке линии измеряют расстояние 2Д / между этими точками с возможно большей точностью. [30]
Страницы: 1 2 3 4