Cтраница 5
Рейнольдса R -, где v - кинематическая вязкость жидкости, примерно на порядок меньших, чем это имеет место для течения жидкости в трубе. Возможно, это связано с тем обстоятельством, что ближнее поле излучающей кварцевой пластинки чрезвычайно неоднородно и имеются резкие градиенты акустического давления как вдоль, так и поперек ультразвукового пучка. [61]
Малый объем рабочего пространства реактора создает возможность быстрой и эффективной продувки его после операции травления, что способствует получению резких градиентов концентрации на границе подложка - слой. Управление ходом процесса эпитаксиального осаждения с помощью микропроцессоров позволяет улучшить эти показатели. [62]