Испарение - кремний
Cтраница 1
Испарение кремния из тиглей, как уже отмечалось, нежелательно. [1]
Устройства для испарения кремния электронной бомбардировкой чем-либо существенным от обычных нагревателей подобного рода не отличаются. [2]
Скрытая теплота испарения кремния равна 44 ккал / г-атом, тогда как теплота перехода кремния из кристаллического состояния в аморфное очень невелика и не превосходит 2 ккал / г-атом. [3]
При высокой температуре процесса вследствие испарения кремния на поверхности кристалла ( если она не защищена) образуются вакансии, диффундирующие в глубь кристалла. Вероятность внедрения атомов примеси в междоузлия возрастает с повышением ( концентрации примеси, так как плотность вакансий при этом падает. [4]
 |
Температурная зависимость эл ек - Рах расплавленный кремний тросопротивления электродов из само - испаряется и пропитывает за-связанного карбида кремния. готовки. При этом одновре. [5] |
С, при которой происходит испарение избыточного несвязанного кремния. Образующийся в результате реакции вторичный карбид кремния связывает зерна первичного карбида кремния, образуя плотный, монолитный материал. Микроструктурный анализ показывает, что материал является однородным. [6]
 |
Температурная зависимость электросопротивления электродов из самосвязанного карбида кремния. [7] |
С, при которой происходит испарение избыточного несвязанного кремния. Образующийся в результате реакции вторичный карбид кремния связывает зерна первичного карбида кремния, образуя плотный, монолитный материал. [8]
Кроме описанных основных процессов имеет место испарение кремния и частичное взаимодействие углерода с газообразным кремнием, а также растворение углерода в расплавленном кремнии и перекристаллизация карбида кремния через расплав. [9]
В работе Батдорфа и Смитса [676] измерялась скорость испарения кремния с открытой поверхности и было найдено значение теплоты сублимации АЯ0 105 ккал / г-атом. [10]
С другой стороны, по данным работ [213, 225] при испарении кремния, легированного фосфором, потери при tg 1125 С отсутствуют. [11]
Кроме того, при 1450 С определенный вклад вносит также испарение кремния с поверхности. [12]
 |
Температурные зависимости давления паров и скорости испарения кремния. [13] |
На рис. 21 - 1 представлены зависимости давления паров и скорости испарения кремния от температуры, а в табл. 21 - 2-данные об упругости паров кремния в сопоставлении с аналогичными сведениями для элементов, являющихся примесями в кремнии. [14]
Значение энергии диссоциации Sia может быть вычислено на основании масс-спектро-метрических исследований испарения кремния и карбида кремния. [15]
Страницы: 1 2