Гипотенузная грань - призма
Cтраница 3
 |
Схема прибора для неконтактного контроля плоскостности. [31] |
На рис. 19 изображена схема прибора для неконтактного контроля плоскостности. Принцип работы прибора состоит в интерференционном сравнении исследуемой и эталонной поверхностей. Эталонной поверхностью служит гипотенузная грань призмы. [32]
Для устранения влияния перечисленных факторов на контраст муаровой картины оптическая схема датчика выполнена так, что на фотоприемники попадают пучки, образующие только одну систему полос. На рис. 3 - 16 а осветитель освещает решетки 2, 3 сходящимся пучком света. При таком освещении лучи, вышедшие из системы решеток, строят три ярких изображения источника света, два из которых построены пучками, образующими соответственно две системы интерференционных полос. Угол сходимости пучка, сформированного осветителем и зазор между решетками выбраны так, что эти изображения не накладываются друг на друга ( рис. 3 - 16 6), что в свою очередь, позволяет выделить только лучи, несущие информацию об одной системе полос. Конструктивно это достигается тем, что катетная грань прямоугольной призмы 2 изготовлена в виде реплики прозрачной дифракционной решетки, а к гипотенузной грани призмы в том 1месте, где создается нужное изображение источника света, приклеен световод 4, пропускающий лучи, которые создают только одну систему полос. Для данной системы необходима высокая точность позиционирования самих лепестков подвижной диафрагмы. [33]
Страницы: 1 2 3