Лазерное испарение

Cтраница 2

Для получения нанокристаллических порошков применяются также плазменный, лазерный и дуговой способы нагрева. Импульсное лазерное испарение металлов в атмосфере инертного газа ( Не или Аг) и газа-реагента ( U2, N2, NHs, СЕЦ) позволяет получать смеси нанокристаллических оксидов различных металлов, оксидно-нитридные или карбидно-нитридные смеси. Состав и размер наночастиц можно контролировать изменением давления и состава атмосферы ( инертный газ и газ-реагент), мощностью лазерного импульса, температурного градиента между испаряемой мишенью и поверхностью, на которую происходит конденсация. [16]

Один из способов получения ВТСП пленок заключается Е лазерном испарении исходного ВТСП материала и осаждении продуктов испарения на соответствующие подложки. Качество напыления пленок зависит при этом от многих условий, в частности от параметров лазерного излучателя, режима отжига, материала подложки и ее температуры. Пленки, напыленные в вакууме, как правило, имеют низкое значение Jc из-за потери кислорода, и для повышения температуры перехода требуется длительный последующий отжиг в атмосфере кислорода, что в свою очередь отрицательно влияет на качество пленок. Поэтому целесообразно производить напыление в вакуумных камерах при небольшом давлении кислорода. Метод является перспективным в микроэлектронике, наряду с такими, как катодное и магнетронное распыление. [17]

Это означает, что проведение одновременного многоэлементного анализа с помощью лазерного испарения обычно позволяет определить сравнительно мало элементов - в зависимости от типа имеющегося спектрометра, предусмотренного для данного прибора. Наглядные примеры, иллюстрирующие современное состояние в данной проблеме, приведены Мериком и др. [46] для анализа цементных руд и Трейтлом и др. [35] для биологических образцов. [18]

Экспериментальные коэффициенты отражен ния в MP-диапазоне от многослойных зеркал, компот нентами которых являются. [19]

Этот вид дефектов может ограничивать коэффициент отражения, от МИС ( особенно в случае структур с предельно малым периодом) и зависит как от свойств напыляемых веществ, так и от метода напыления. В то же время, как утверждается в работе [17], метод лазерного испарения позволяет получать сплошные пленки практически любых веществ ( в том числе и золота) толщиной 0 5 - 1 5 нм. [20]

В [126, 127] выполнены исследования особенностей лазерного испарения халькогенидов висмута и сурьмы. Тот факт, что эти формы не-образуются в паровой фазе, подтверждается сравнением с составом паров при раздельном лазерном испарении висмута и халь-когенов из двух тиглей. [21]

В [126, 127] выполнены исследования особенностей лазерного испарения халькогенидов висмута и сурьмы. Тот факт, что эти формы He-образуются в паровой фазе, подтверждается сравнением с составом паров при раздельном лазерном испарении висмута и халь-когенов из двух тиглей. [22]

Неожиданным стало открытие фуллеренов в саже, получающейся1 8 при сгорании бензола и других углеводородов, причем соотношение основных компонентов возможно изменять в зависимости от режима горения. Неясно, однако, может ли этот подход иметь препаративное значение. Не найдено препаративных условий образования фуллеренов и с помощью лазерного испарения, но горение графита в плазменном разряде дает фуллереновую сажу. Представляется возможным также нахождение новых источников кластеров углерода как фуллереновых, так и других неграфитовых форм в таких углеродистых материалах, которые подвергаются воздействию высоких температур или давлений. [23]

Из примеров, приведенных в предыдущем разделе, ясно, что лазер представляет собой необычный источник энергии для масс-спектрометрического изучения процессов испарения и вообще частиц, присутствующих в паре. Очень высокое давление и температура, возникающие при взаимодействии лазер-твердое тело, обеспечивают новые возможности изучения материалов в экстремальных условиях. Полученная информация о структурах ближнего порядка свидетельствует о том, что лазерная масс-спектро-метрия является новым способом изучения структуры аморфных материалов. Простота ионного спектра при лазерном испарении больших органических молекул представляет возможность простой идентификации многих больших молекул, обнаруженных в современных лекарственных и биологических системах. Предварительные исследования показали, что этот метод может оказаться полезным при изучении суспензий и полимеров. [24]

Одним из серьезных ограничений применения лазерного источника на настоящем этапе развития служит трудность получения количественных результатов. Количество некоторых ионов ( особенно ионов щелочных металлов), которые могут образоваться при взаимодействии лазер - твердое тело, намного ниже предела обнаружения других способов. Плохая воспроизводимость выходной мощности лазера - другое ограничение рассматриваемого метода. Электронное регулирование импульса лазера может быть ключом к решению этой проблемы. Вплоть до недавнего времени результаты масс-спектрометрического изучения частиц пара, образовавшихся при взаимодействии лазер-твердое тело, были малопонятны. Взаимодействие фотонов луча лазера с твердым материалом более сложное, чем в случае короткого термического импульса. Высокое давление, возникающее в облаке, очевидно, играет важную роль в формировании частиц пара. Распределение энергии на процессы нагрева конденсированной фазы, ее плавления и испарения пока еще не ясны. К сожалению, термодинамические данные для большинства частиц, полученных при лазерном испарении, отсутствуют, поэтому рассчитать распределение энергии луча лазера невозможно. Несмотря на эти ограничения, лазерный источник относится к новым важным источникам энергии для масс-спектрометрии. [25]

Страницы: 1 2