Ленточный испаритель

Cтраница 2

Преимуществом ленточных испарителей является возможность работы на низкосортном нафталине. Периодически через два-три месяца ленточные испарители чистят от смолы, оседающей на стенках и ленте аппарата. Чистку осуществляют механическим путем и промывают аппарат горячим раствором едкого натра. [16]

Металлические тигельные испарители. [17]

На рис. 3 - 55 е представлена схема тигельного испарителя, предназначенного также для испарения моноокиси кремния. Трудность испарения моноокиси кремния при помощи обычных ленточных испарителей заключается в том, что в процессе распыления время от времени наблюдается выброс макроскопических частиц или комет, которые могут пробить получающуюся при этом диэлектрическую пленку. [18]

Нафталин марки очищенный отличается наименьшим содержанием нелетучих веществ ( 0 03 %); он особенно желателен для цехов с несовершенными конструкциями испарителей, где возможны затруднения при наличии в нафталине значительного содержания нелетучих веществ или веществ, способствующих образованию последних в процессе испарения. В нафталине марки А допускается несколько повышенное содержание нелетучих веществ ( до 0 04 %); он применяется при эксплуатации ленточных испарителей. Он может поставляться цехам-потребителям только с их согласия для использования в испарителях барботажного типа. Нафталин марки В отличается от очищенного нафталина наличием метилнафталинов. [19]

Тигельные испарители применяют только для испарения больших количеств материалов, не вступающих в реакцию с материалом тигля. Последние изготовляют из тугоплавких металлов ( вольфрам, молибден и др.), графита, стекла и кварца. По сравнению с проволочными и ленточными испарителями они более инерционны, так как малая теплопроводность тигля не обеспечивает быстрый нагрев испаряемого материала. [20]

Испарителем обычно служит спираль, скрученная из вольфрамовой проволоки. Темп - pa испарения алюминия поддерживается ок. Для испарения др. металлов используют также ленточные испарители из молибденовой, вольфрамовой или танталовой фольги. [21]

Материалом для контактных площадок берется высокочистое золото. Для улучшения его адгезии к подложке применяется подслой из хрома. Напыление проводится через металлическую маску. Для испарения материалов используются ленточные испарители. Толщина контролируется по удельному сопротивлению напыляемой пленки. Напыление проводится при вакууме не хуже 5 - 10 - 5 тор. Подложки подогреваются до 230 20 С. Хром напыляют до удельного сопротивления ps50 20 ом / О. Затем проводится напыление золота. [22]

Металлизацию осуществляют в вакуумной камере [ остаточное давление 1 33 - ШлшДм2 ( I-IO 5 - 1 - 10 - 3 мм рт. ст.) ], куда помещают металл и обрабатываемое изделие. Испарителем обычно служит спираль, скрученная из вольфрамовой проволоки. Темп - pa испарения алюминия поддерживается ок. Для испарения др. металлов используют также ленточные испарители из молибденовой, вольфрамовой или танталовой фольги. [23]

Страницы: 1 2