Cтраница 2
![]() |
Схематическое изображение поликристаллических пленок, сконденсированных на твердую поверхность при относительно низкой ( а и более высокой ( б температурах. [16] |
Согласно одному из способов при давлении аргона 50 - 500 Па образуются зерна металлов, которые для предупреждения последующего роста слегка окисляют введением в реакционную среду малых количеств кислорода. Размеры ДФ пропорциональны давлению и мольной массе Не, Аг или Хе и составляют: для Mg и Zn - 8 - 800 нм, для А1 и Си - 5 - 2000 нм. Условия получения ДФ различных металлов испарением в инертной атмосфере и вакууме зависят от природы металла и обусловлены значением их парциальных давлений, определяемых температурой. [17]
![]() |
Зависимость коэффициента теплопроводности нанесенной плазменным методом двуокиси Циркония от температуры.| Схема экспериментальной установки.| Схема заделки термопар на цилиндрическом образце. [18] |
Замена вакуума на среду аргона и изменение давления аргона от 1 0 до 2 0 ата заметного влияния на характер зависимости коэффициента теплопроводности от температуры не оказывает. Видимо, влияние этих факторов находится в пределах погрешности эксперимента. [19]
Вольский и др. [221] распыляли германий при давлениях аргона ( 2 - 4) - 10 - 3 мм рт. ст. Перед распылением систему откачивали до остаточного давления 10 - 9 мм рт. ст. Подложки и распыляемый германий были из одного и того же материала - и-монокристаллов с сопротивлением 30 ом-см. [20]
![]() |
Осветительная система спектрофотометра для измерений в вакуумной области спектра. [21] |
Регулируемые клапаны 4 служат для автоматического сбрасывания избытка давления аргона. [22]
В табл. 58 приведены результаты измерения поглощения исследованных линий при давлении аргона 6 атм и температуре 2800 К. [23]
![]() |
Схема вакуумной системы с лредель ным остаточным давлением выше 6 5 - 10 П.| Схема вакуумной системы с остаточным давлением ниже 6 5 - 10 - Па. [24] |
На рис. 18 изображена принципиальная схема системы создания и поддержания в электропечи давления аргона в пределах 1 06 - Ю - 1 12 - 10 Па. Перед напуском аргона в электропечь из нее предварительно откачивают воздух вакуумной истемой. [25]
![]() |
Схема вакуумной системы с предельным остаточным давлением выше 6 5 - 10 - & Па.| Схема вакуумной системы с остаточным давлением ниже 6 5 - Ю - Па. [26] |
На рис. 18 изображена принципиальная схема системы создания и поддержания в электропечи давления аргона в пределах 1 06 - 10б - 1 12 - 106 Па. Перед напуском аргона в электропечь из нее предварительно откачивают воздух вакуумной системой. [27]
![]() |
Диаграмма состояния си - ся Температура начала возгонки. [28] |
На рис. 105 приведена диаграмма состояния системы Si - С изученной под давлением аргона в 100 атм. Согласно рис. 105 карбид кремния образуется по пери-тектической реакции между расплавом, обогащенным кремнием, и углеродом. [29]
Крикорян [160, 240] распылял германий при напряжении от 2000 до 5000 в и давлении аргона ( 2 - 6) - 10 - 2 мм, рт. ст. Кроме чистого аргона, использовали также смеси различных газов, в том числе содержащие аргон с восстановителем или активным газом. Условия осаждения германия в этих опытах и перечень использованных подложек указаны в табл. 3.11. Толщина исследованных пленок изменялась от 1000 до 7000 А, а скорость их роста от 1400 до 5500 А / час. [30]