Cтраница 3
Основные технические параметры вакуумной системы и, в частности, предельное остаточное давление в значительной степени определяются давлением паров материалов, примененных при конструировании ее элементов. Особенно важен правильный выбор материалов при создании сверхвысоковакуумных систем, работающих при повышенных температурах. Решающее значение имеет знание характеристик испаряемых материалов в технике получения тонких пленок. [31]
Малая способность к растворению откачиваемых газов, что обеспечивает получение низких предельных остаточных давлений благодаря малому обратному выделению газов струей пара на впуске насоса. [32]
![]() |
Схема газовой системы. [33] |
На рис. 19 показана конструкция высокотемпературной вакуумной электропечи сопротивления с предельным остаточным давлением Б 5 - 10 - 5 Па. Нагреватель 3 электропечи изготовлен из вольфрамовых прутков, выполненных с дополнительными витками на концах для усиления нагрева концов образца, что компенсирует тепловые потери через захваты, выравнивая температуру по длине образца. Теплоизоляционные экраны 4 изготовлены из набора вольфрамовых и молибденовых листов. Электропечь имеет резиновые уплотнения. Экраны и нагреватели установлены на двух торцовых открывающихся крышках. [34]
В непрогреваемых вакуумных системах с резиновыми уплотнителями паромасляные диффузионные насосы обеспечивают предельное остаточное давление около 5 - Ю-4 Па без ловушек и около 5 - 1Q - 5 Па с ловушками, охлаждаемыми кипящим жидким азотом. [35]
![]() |
Мановакуумметр MB.| Мановакуумметры типа MB. [36] |
Манометр AM-100 ГОСТ 9933 - 75 Мановакуум метры предназначены для измерения избыточного и предельного остаточного давления. [37]
![]() |
Паромасляный диффузионный насос с воздушным охлаждением. [38] |
Ухудшение условий охлаждения насоса при повышений температуры воды ведет к заметному повышению предельного остаточного давления и уменьшению быстроты действия. [39]
Настоящий стандарт распространяется на вакуумные масла и устанавливает метод оценки их качества по предельному остаточному давлению, достигнутому в вакуумной системе при откачке ее диффузионным насосом, работающим на этом масле. [40]
Испытания прекращают после получения первого значения давления, удовлетворяющего техническим требованиям на испытуемое масло по показателю предельное остаточное давление, которое принимают за результат испытания. [41]
Основными параметрами вакуумных насосов являются наибольшее давление запуска, наибольшее выпускное давление, наибольшее рабочее давление, предельное остаточное давление, быстрота действия и производительность. [42]
Крионасосы, так же как - и другие виды вакуумных насосов, оцениваются двумя основными характеристиками: предельным остаточным давлением и быстротой действия. [43]
![]() |
Установка УВН-2М.| Схема внутрикамерного устройства установки У В Н - Ш. [44] |
В качестве высоковакуумногр средства откачки в установке применен параллельный диффузионный насос, имеющий быстроту откачки 1500 л / с и предельное остаточное давление 2 5 - 10 - 4 Па. Паромасляный диффузионный насос отсекается от рабочего объема высоковакуумным затвором. Между впускным патрубком парома-сляного насоса и затвором находится азотная ловушка. [45]