Cтраница 2
С другой стороны, давление в ионизационной камере, обусловленное натеканием, зависит от величины потока газа и от сопротивления этому потоку со стороны ионизационной камеры. Обычно общее давление в ионизационной камере имеет величину, порядка 10 - 5 - - 10 - 4 мм рт. ст., причем дальнейшее повышение давления нецелесообразно из-за снижения срока службы катода. Кроме того, при больших потоках газа общее фоновое давление также повышается из-за ухудшения условий работы диффузионного насоса. [16]
Для того чтобы очистить поверхность распылением, скорость удаления частиц, выбиваемых с поверхности первичными ионами, должна превосходить суммарную скорость поступления на поверхность фоновых газов и выбитых частиц. В описываемых опытах применяли спектроскопически чистые газы с полным содержанием примесей, меньшим 2 - 10 - 4 мольных долей. Давление распыляющего газа, из которого образуются бомбардирующие ионы в описанных ниже источниках, составляет 10 - 4 - 10 - 3 мм рт. ст. Таким образом, во время распыления фоновое давление примесей, адсорбция которых возможна, будет меньшим 10 - 7 мм рт. ст. Число ударов молекул кислорода о поверхность при комнатной температуре и давлении 10 мм рт. ст. равно NIA 3 5 - 1013 частиц. Чтобы вычислить минимальную плотность тока положительных ионов, которая требуется для поддержания чистоты поверхности, примем, как и Уэнер [5], для ионов энергии 100 эв величину выхода У SIB 0 1, а вероятность адсорбции при ударе равной единице. [17]
В настоящей работе описываются опыты по определению адсорбции газовых ионов на металлических и стеклянных поверхностях. Работа ограничивается почти исключительно ионами инертных газов-гелия, неона, аргона и криптона. Было проведено лишь небольшое количество опытов с азотом и кислородом. Применяемый метод состоит скорее в определении десорбционных свойств, чем адсорбционных; после сорбции на поверхности мишени при бомбардировке ее ионами удаляли газ нагреванием. Система непрерывно откачивалась; количество выделяющегося газа определяли интегрированием давления по времени. Преимущество этого метода по сравнению с методом работы в замкнутой системе состоит в том, что сорбция может быть проведена в простых и легко контролируемых условиях при постоянном и низком фоновом давлении. [18]