Cтраница 5
Емкостный датчик представляет собой две пластинки шириной 1 5 мм, расположенные в одной плоскости, ширина зазора между которыми примерно 0 15 мм. Такая конструкция датчика позволяет производить локальные измерения удельного сопротивления по площади образца, что удобно для определения степени неравномерности кристаллов. [61]