Движение - расплавленная зона
Cтраница 1
Движение расплавленной зоны по стержню кремния чаще всего осуществляют снизу вверх, что обеспечивает большую стабильность расплава в зоне, удерживаемого силами поверхностного натяжения. [1]
 |
Горизонтальная ванночка для обработки водных растворов. [2] |
Движение расплавленной зоны вдоль образца может быть осуществлено двумя способами: образец удерживается на месте и движется нагреватель или, наоборот, нагреватель неподвижен и движется образец. Обычно первый способ применяется для очистки больших образцов, а второй - для очистки небольших образцов. [3]
При движении расплавленной зоны происходит перераспределение примесей ( компонентов) по длине образца. При т 1 примесь концентрируется в начале слитка. Распределение примеси вдоль образца зависит от числа прохода зон п: с увеличением п степень разделения ( градиент концентрации) возрастает. [4]
 |
Схема устройства для зонного расплавления с горизонтально расположенным индуктором. [5] |
По мере движения расплавленной зоны она обогащается примесями, а позади остается чистая твердая фаза. Загрязненная часть слитка затвердевает и ее отрезают. Многократное повторение таких операций позволяет все примеси переместить к одному концу металлического слитка. [6]
При зонном выравнивании с движением расплавленных зон во встречных направлениях дифференциальные уравнения имеют различную форму в зависимости от направления движения зоны. [7]
Наиболее верный путь избежать разрушения контейнера-это правильно выбрать направление движения расплавленных зон. В частности, Пфанн [16] подробно разъясняет, что для веществ, плавящихся с расширением, таким направлением будет движение зон сверху вниз и, наоборот, снизу вверх для веществ, уменьшающих объем при плавлении. [8]
В этих печах проводят диффузию из рекристаллизационного слоя с движением расплавленной зоны. [9]
При проведении зонной очистки наряду с процессом перераспределения примеси при движении расплавленных зон наблюдается ряд побочных процессов: флотация и осаждение твердых включений, испарение, сублимация и дегазация. В некоторых случаях эти процессы оказывают настолько большое влияние, что от их протекания зависит успех очистки. Процессы осаждения и флотации твердых включений проявляются в большей степени при очистке в вертикальных контейнерах. Процессы испарения, сублимации и дегазации легколетучих и газообразных примесей характерны для горизонтального расположения. [10]
В ходе зонной очистки наряду с процессом перераспределения примеси при движении расплавленных зон происходит ряд побочных процессов: флотация и осаждение твердых включений, испарение, сублимация и дегазация. [11]
Уровень содержания доноров в стержнях поликристаллического кремния контролируют однопроходной зонной плавкой, проводимой в вакууме, со скоростью движения расплавленной зоны 3 мм / мин. Для стержней диаметром более 65 мм измерения проводят на контрольном монокристалле, выращенном методом Чохральского со скоростью подъема затравки также 3 мм / мин. [12]
Когда достигается такое распределение, то оно может рассматриваться как стационарное, конечное распределение, при котором происходит перемещение примеси с одинаковой скоростью в прямом и обратном направлениях относительно движения расплавленной зоны. Знание конечного распределения примеси по длине слитка очень важно, так как оно позволяет оценивать предельные возможности зонной перекристаллизации как метода очистки при заданных условиях проведения процесса. [13]
 |
Предельное распределение относительной концентрации после зонной перекристаллизации. [14] |
При получении образцов двух - и многокомпонентных систем однородного состава используют два метода многопроходной зонной перекристаллизации: 1) зонное выравнивание концентраций компонентов в кольцеобразных образцах и 2) зонное выравнивание концентраций при движении расплавленных зон во встречных направлениях. [15]
Страницы: 1 2 3