Cтраница 4
И меры притирают к стеклянной пластине так, чтобы они соприкасались вдоль длинных граней. Пластину устанавливают на стол интерферометра. При наклоне стола в поле зрения окуляра возникают три картины полос ( рис. 100, а): на каждой из мер и на пластине. Измерения проводят в белом свете, если разность длин мер не превышает 1 5 мкм. Отклонение длины поверяемой меры от длины исходной меры равно полудлине световой волны, умноженной на смещение полос одного номера на мерах. Значение отклонения определяют так же, как при техническом интерференционном методе. Если разность длин исходной и поверяемой мер превышает 1 5 мкм, то измерения выполняют в монохроматическом свете с различными длинами волн и отклонение определяют методом совпадения дробных частей полос. Длину мер предварительно измеряют с погрешностью 0 001 мм. [46]
Современные методы измерений обеспечивают достаточно, высокую точность аттестации наружных размеров калибров и образцовых деталей. Точность измерения внутренних размеров установочных калибров часто оказывается недостаточной. Значительное повышение точности измерений достигается при использовании калибра специальной конструкции. Установочный калибр с внутренним рабочим размером представляет собой плоскопараллельную концевую меру с отверстием ( фиг. Ось отверстия параллельна наружным рабочим поверхностям меры. Длина меры L может быть измерена абсолютным интерференционным методом с точностью до ( 0 05 0 5 - 10 - 3 L мм) мк. Для измерения размеров / х и / 2 применяется специальный измерительный наконечник ( фиг. [47]