Газоразрядная камера

Cтраница 1

Газоразрядные камеры с кольцевой геометрией ( см. рис. 4.7, б) уже используются в СО2 - лазерах технологического назначения. Активная среда в щелевом зазоре данного лазера создается с помощью несамостоятельного разряда с периодической ионизацией. Резонатор состоит из двух зеркал - плоского выходного, изготовленного из германия, и кольцевого с отражающей поверхностью. [1]

Схема газоразрядной камеры с электронным пучком приведена в та бл. Средняя энергия электронов плазмы определяется величиной постоянного электрического поля, поддерживаемого между катодом и анодом разрядного промежутка. Однородный пучок электронов ускорителя позволяет получить однородный несамостоятельный разряд, а следовательно, и высокую однородность оптических свойств активной среды. [2]

Схема ионно-лучево-го ускорителя. [3]

В передней стенке газоразрядной камеры имеется щель для вытягивания ионов из плазменного шнура с помощью ионно-оптической системы ( экстрактора ионов 73), состоящей из основного заземленного 11, промежуточного 14 ( с потенциалом 3 - 5 кВ для подавления стока электронов) и фокусирующего 12 ( под положительным ускоряющим потенциалом) электродов. В источнике, изображенном на рис. 6 1, б, функции фокусирующего электрода выполняет металлическая передняя стенка разрядной камеры. [4]

При этом в газоразрядной камере вместимостью 100 см создается импульсное давление от 1 33 до 133 3 Па. Срабатывание затвора и дозирование газового потока осуществляется при помощи импульсного генератора, вырабатывающего импульсы тока в интервале 0 3 - 2 0 мс. При подаче импульса тока в катушку электромагнита создается импульсное магнитное поле, заставляющее якорь с тефлоновым вкладышем открывать канал устройства микро дозирования. [5]

Схема ионно-лучево-го ускорителя. [6]

Тигель сообщается с газоразрядной камерой 9, выполненной из графита или из огнеупорной керамики. Над камерой располагается оксидный подогревный катод 10, который эмиттирует электроны, облегчающие возбуждение дугового разряда. Электроны попадают в камеру через специальное коллимирую-щее отверстие в ее верхней части. Для увеличения плотности ионов в плазменном шнуре источник снабжен вспомогательным электромагнитом, поле которого собирает ионы к оси камеры. В источнике можно использовать газообразную или парообразную лигатуру, для чего предусмотрен впуск паров или газов в камеру извне, через специальные вводы. [7]

Схематический вид ВЧФ-плазмотрона. [8]

Термозащитный газ подается через газоразрядную камеру 4 вдоль изолятора 3, предотвращая его перегрев и одновременно обеспечивая защиту поверхности сопла от соприкосновения с плазмой. ВЧФ-плаз-мотроны могут быть использованы в плазмохимической технологии, для обработки дисперсных материалов, например во взвешенном слое [50] и в других процессах. [9]

При определенных режимах в газоразрядной камере положительные ионы бомбардируют поверхность катода, передают ей энергию и разогревают до высоких температур. Параллельно с этим протекает процесс катодного распыления, при котором частицы катода отрываются от поверхности и летят во все стороны, оседая на стенках камеры и других деталях. Катодное распыление, как и нагрев, происходит по всей поверхности катода, покрытой разрядным свечением. [10]

По направлению газового потока относительно электродов газоразрядной камеры и зеркал резонатора различают лазеры с продольной прокачкой: Латус-31, ИЛГН-707, VFA-500-5000, RS-1200-5000 и лазеры с поперечной прокачкой: мод. Плутон-1 ( ЛН-12НО), ТЛ-15, ТЛ-5М, ТЛ-75 и др. Возбуждение, т.е. накачка рабочей газовой смеси, осуществляется разрядом постоянного тока ( лазеры ЛН-1 2НО, ТЛ-5М, мод. [11]

Предположим, что шнур отделен or стенок газоразрядной камеры вакуумным промежутком, иными словами - термоизолирован собственным магнитным полем. [12]

Ионнолучевая установка ИЛУ-3. [13]

Под действием энергии электронов пары рабочего вещества, находящиеся в газоразрядной камере, ионизируются, образуя плазму. [14]

Ионное введение примесей. [15]

Страницы: 1 2 3