Крупнокристаллический карбид - кремний
Cтраница 1
Крупнокристаллический карбид кремния образует концентрический слой, расположенный вокруг сердечника печи, при этом кристаллы срастаются друг с другом как в направлении своих продольных осей ( образуя как бы цепочки), так и по боковым поверхностям. [1]
Затем идет слой крупнокристаллического карбида кремния, вначале плотного, почти сливного характера, затем переходящего в пористые куски сросшихся в цепочки кристаллов, размеры которых постепенно уменьшаются по направлению к периферии печи. За слоем крупнокристаллического карбида кремния следует четко отграниченный от него слой мелкокристаллического карбида кремния, носящий, как уже было указано ранее, название аморф и содержащий заметное количество примеси компонентов шихты. [2]
Непосредственно к графитовому слою или сердечнику примыкает слой крупнокристаллического карбида кремния в виде цепочек сросшихся кристаллов, размеры которых постепенно уменьшаются в направлении от сердечника. За крупнокристаллическим карбидом кремния располагается слой аморфа, затем слой силоксикона и, наконец, внешний слой из непрореагировавшей шихты, из которой в результате нагрева удалилась влага, а также полностью или частично - летучие соединения. [3]
Технический карбид кремния, получаемый в электрической печи, содержит обычно 95 - 99 % крупнокристаллического карбида кремния ( гексагональная модификация) и от 1 до 4 - 5 % примесей, основными из которых являются кремний, углерод, железо, алюминий и натрий. Некоторые из числа указанных металлов находятся в самих кристаллах, по-видимому, в виде карбидов, другие - в виде механических примесей - металлических сплавов с большим содержанием кремния. Натрий находится в карбиде кремния в виде щелочи. [4]
 |
Схема расположения материалов по сечению печи для производства карбида кремния. а - при загрузке, б - после охлаждения. [5] |
По технологическим и экономическим соображениям, в частности, для уменьшения удельного расхода электроэнергии и получения большего выхода крупнокристаллического карбида кремния, время нагрева печи ограничивают примерно 25 - 36 час, в зависимости от размеров и мощности печи, после чего печь отключают для охлаждения. [6]
 |
Графитовый контейнер типа А. [7] |
Во внутренний реакционный цилиндр 2 устанавливается тонкостенный перфорированный графитовый цилиндрический сосуд 3 диаметром 65 - 75 мм и высотой 300 мм, вокруг которого загружается крупнокристаллический карбид кремния 4, предназначенный для пересублимации. В верхней части внутреннего реакционного цилиндра 2 размещается пакет свободно набранных графитовых тонкостенных перфорированных шайб и подставок 5, каждая с центральным отверстием диаметром 15 - 25 мм. Общая высота пакета равна 350 - 450 мм. [8]
Непосредственно к графитовому слою или сердечнику примыкает слой крупнокристаллического карбида кремния в виде цепочек сросшихся кристаллов, размеры которых постепенно уменьшаются в направлении от сердечника. За крупнокристаллическим карбидом кремния располагается слой аморфа, затем слой силоксикона и, наконец, внешний слой из непрореагировавшей шихты, из которой в результате нагрева удалилась влага, а также полностью или частично - летучие соединения. [9]
Затем идет слой крупнокристаллического карбида кремния, вначале плотного, почти сливного характера, затем переходящего в пористые куски сросшихся в цепочки кристаллов, размеры которых постепенно уменьшаются по направлению к периферии печи. За слоем крупнокристаллического карбида кремния следует четко отграниченный от него слой мелкокристаллического карбида кремния, носящий, как уже было указано ранее, название аморф и содержащий заметное количество примеси компонентов шихты. [10]
 |
Графитовый контейнер типа А. [11] |
Оба цилиндра сверху и снизу закрыты крышками на резьбе. Во внутренний реакционный цилиндр 2 устанавливается тонкостенный перфорированный графитовый цилиндрический сосуд 3 диаметром 65 - 75 мм и высотой 300 мм, вокруг которого загружается крупнокристаллический карбид кремния 4, предназначенный для пересублимации. В верхней части внутреннего реакционного цилиндра 2 размещается пакет свободно набранных графитовых тонкостенных перфорированных шайб и подставок 5, каждая с центральным отверстием диаметром 15 - 25 мм. Общая высота пакета равна 350 - 450 мм. [12]
 |
Схематический поперечный разрез загрузки мощной печи ( около 1000 кет современного типа для производства карбида кремния в начале и в. [13] |
Разгрузку печи начинают с разборки боковых стенок. Затем снимают верхний слой материала - тепловое одеяло. Потом снимают спеченный слой силоксико-на, дают охладиться и снимают слой мелкокристаллического амор-фа. В результате этого оголяется слой крупнокристаллического карбида кремния. Между слоем карбида кремния и сердечником иногда обнаруживается слой графита. [14]
Страницы: 1