Cтраница 2
Термоэмиссионный катод ( термокатод) - элемент электровакуумного или газонаполненного прибора, являющийся источником электронов. Основные типы термоэмиссионных катодов: металлические, оксидные, метал-лопористые ( распределительные), металлосплавные и боридные. [16]
Термоэмиссионный катод ( термокатод) - элемент электровакуумного прибора, являющийся источником электронов. Основные типы термоэмиссионных катодов: металлические, оксидный, металлопористый и борид-ный. [17]
Служат для получения рентгеновских лучей. Необходимые электроны получаются с помощью термоэмиссионного катода. Эти электроны ускоряются до необходимых энергий за счет наложения между расположенными в ва-куумированной стеклянной колбе катодом и анодом высокого напряжения. [18]
Таким образом, РСМА является методом локального анализа. Электронная пушка состоит из авто - или термоэмиссионного катода и системы ускоряющих и фокусирующих электростатических или магнитных линз, работающих в условиях высокого вакуума. [19]
Эффективность диодных систем катодного распыления снижается при давлениях ниже 10 - 1Па в связи с уменьшением концентрации ионов рабочего газа, в то же время для получения газоненаполненных пленок целесообразно уменьшить давление в рабочей камере. С этой целью разработаны системы с искусственным поддержанием разряда за счет использования либо термоэмиссионного катода, либо высокочастотного поля, а также многоэлектродные системы. Для поддержания высокочастотного разряда и стабилизации тлеющего разряда используется магнитное поле, предотвращающее попадание вторичных электронов на подложку. [20]
Известно, что эффективность диодных систем катодного распыления резко падает при рабочих давлениях ниже 10 - 2 мм рт. ст. из-за уменьшения концентрации ионов рабочего газа. Для стимуляции процесса в более высоком вакууме прибегают к различным методам искусственного поддержания разряда, плазма в которых индуцируется или термоэмиссионным катодом или высокочастотным полем. Кроме того, используются системы, в которых ионизация плазмы осуществляется либо за счет увеличения энергии электронов в многоэлектродных системах, либо за счет увеличения длины пробега электронов в магнитном поле. [21]