А-тантал - Большая Энциклопедия Нефти и Газа, статья, страница 1
Ценный совет: НИКОГДА не разворачивайте подарок сразу, а дождитесь ухода гостей. Если развернете его при гостях, то никому из присутствующих его уже не подаришь... Законы Мерфи (еще...)

А-тантал

Cтраница 1


1 Свойства тонких пленок тантала и нитрида тантала. [1]

Пленки а-тантала, обладающие крупнозернистой поликристаллической структурой, могут быть получены термическим испарением с помощью электронного луча или методами катодного и ионно-плазменного распыления в чистом аргоне.  [2]

3 Свойства тонких пленок тантала и нитрида тантала. [3]

Электрофизические свойства пленки а-тантала приведены в табл. 12.5. Из-за больших механических напряжений в пленке, недостаточно хорошей адгезии к подложкам и высокого значения а, пленки а-тантала широко не применяются для изготовления элементов микросхем.  [4]

5 Свойства тонких пленок тантала и нитрида тантала. [5]

Электрофизические свойства пленки а-тантала приведены в табл. 12.5. Из-за больших механических напряжений в пленке, недостаточно хорошей адгезии к подложкам и высокого значения а, пленки а-тантала широко не применяются для изготовления элементов микросхем.  [6]



Страницы:      1