А-тантал
Cтраница 1
 |
Свойства тонких пленок тантала и нитрида тантала. [1] |
Пленки а-тантала, обладающие крупнозернистой поликристаллической структурой, могут быть получены термическим испарением с помощью электронного луча или методами катодного и ионно-плазменного распыления в чистом аргоне. [2]
 |
Свойства тонких пленок тантала и нитрида тантала. [3] |
Электрофизические свойства пленки а-тантала приведены в табл. 12.5. Из-за больших механических напряжений в пленке, недостаточно хорошей адгезии к подложкам и высокого значения а, пленки а-тантала широко не применяются для изготовления элементов микросхем. [4]
 |
Свойства тонких пленок тантала и нитрида тантала. [5] |
Электрофизические свойства пленки а-тантала приведены в табл. 12.5. Из-за больших механических напряжений в пленке, недостаточно хорошей адгезии к подложкам и высокого значения а, пленки а-тантала широко не применяются для изготовления элементов микросхем. [6]
Страницы: 1