Cтраница 2
Помимо того что ЛПМ с УФ-излучением имеют более высокие ЧПИ и качество пучка, они с точки зрения капиталовложений и обслуживания гораздо дешевле, чем базовые лазерные установки на УФ-излучении - экси-мерные лазеры. Кроме того, ЧПИ в ЛПМ с УФ-излучением более чем на порядок превосходит ЧПИ эксимерного лазера, что существенно повышает производительность обработки. [16]
Однако использование динамически стабильных резонаторов и в случае многомодовых лазеров дает целый ряд преимуществ. Это позволяет повысить стабильность всего технологического процесса. Во-вторых, и это весьма важно с практической точки зрения, работая в точке динамической стабильности, мы имеем почти симметричную зависимость выходных характеристик лазера, как при увеличении, так и при уменьшении мощности накачки относительно расчетного значения. При этом качество пучка не ухудшается, т.е. г туо, где туо - качество пучка в точке динамической стабильности. Это следует из формулы (4.120) и из того факта, что при динамической стабильности имеет место минимум размера основной моды в АЭ. Вывод резонатора из состояния динамической стабильности приводит к улучшению качества излучения, однако это сопровождается, как правило, фокусировкой излучения на внутрирезонаторных элементах, увеличением чувствительности мо-довой структуры к термооптическим искажениям АЭ, сужением области устойчивости. Эти обстоятельства позволяют сделать вывод о целесообразности использования при построении мощных твердотельных лазеров технологического назначения динамически стабильных, как одноэлементных, так и многоэлементных схем резонаторов. При этом динамически стабильный резонатор следует рассчитывать для такой ТЛ АЭ рт, которая имеет место при мощности накачки, лежащей посередине возможного рабочего диапазона. [17]
Поверхности отверстий обладают хорошим оптическим качеством. В листах кварцевого стекла округлые пазы прорезаются при скорости 8 мм / мин. На поверхности прозрачной мишени имеется четко очерченное входное отверстие и длинный участок с очень малой конусностью, протяженность которого в 100 раз превышает диаметр входного отверстия. Отверстие слепое или открытое оканчивается вершиной. Для этого достаточно даже средней мощности излучения в 2 5 Вт при дифракционном качестве пучка. Скорость сверления достигает значений 0 2 мкм за один импульс. [18]
Однако использование динамически стабильных резонаторов и в случае многомодовых лазеров дает целый ряд преимуществ. Это позволяет повысить стабильность всего технологического процесса. Во-вторых, и это весьма важно с практической точки зрения, работая в точке динамической стабильности, мы имеем почти симметричную зависимость выходных характеристик лазера, как при увеличении, так и при уменьшении мощности накачки относительно расчетного значения. При этом качество пучка не ухудшается, т.е. г туо, где туо - качество пучка в точке динамической стабильности. Это следует из формулы (4.120) и из того факта, что при динамической стабильности имеет место минимум размера основной моды в АЭ. Вывод резонатора из состояния динамической стабильности приводит к улучшению качества излучения, однако это сопровождается, как правило, фокусировкой излучения на внутрирезонаторных элементах, увеличением чувствительности мо-довой структуры к термооптическим искажениям АЭ, сужением области устойчивости. Эти обстоятельства позволяют сделать вывод о целесообразности использования при построении мощных твердотельных лазеров технологического назначения динамически стабильных, как одноэлементных, так и многоэлементных схем резонаторов. При этом динамически стабильный резонатор следует рассчитывать для такой ТЛ АЭ рт, которая имеет место при мощности накачки, лежащей посередине возможного рабочего диапазона. [19]