Cтраница 1
Керн печи графитан ии имеет четко выраженные зоны с опережающим темпом нагрева. [1]
Конечное температурное поле керна печи графитации определяет физико-механические свойства графитированного материала, особенно такие показатели, как удельное электросопортивление, содержание золы и спектрально определяемые примеси. [2]
Пересыпка применяется для создания более равномерного электрического сопротивления по сечению и длине керна печи. Применение пересыпки позволяет организовать более равномерный нагрев гра-фитируемой продукции. Пересыпка - важнейший материал, создающий активное сопротивление керна. От свойств пересыпки зависит судьба кампании. В качестве пересыпки применяют коксы. При графитации электродов используют металлургический кокс. При графитации щеток или специальных материалов применяют малозольные коксы для предотвращения образования карборунда на изделиях и загрязнения зольными примесями материалов, подвергающихся термической обработке. [3]
Значительными потребителями реактивной мощности являются также графитировочные печи, режим которых характеризуется резким изменением активного сопротивления керна печи в процессе графитации. В начале процесса активное сопротивление печи в десятки раз больше реактивного, поэтому потребление реактивной энергии незначительно, а следовательно, и коэффициент мощности печи близок к единице. По мере разогрева печи активная мощность увеличивается, и в конце процесса активное сопротивление печи оказывается намного ниже реактивного. Поэтому к концу процесса резко увеличивается реактивная нагрузка печи и как следствие коэффициент мощности значительно понижается. [4]
В процессе экспериментального исследования проводилось измерение температурных полей, распределение электрического потенциала на элементах короткой сети и керне печи, определялся состав, температура и количество отсасываемых газов, произведен материальный баланс при загрузке печи. [5]
Для уменьшения трещшйообраздаания в заготовках при граф итации в промышленных печах необходимо загружать печи заготовками одного диаметра и прошедшими обжиг при одинаковой температуре, а также плавно изменять мощность, подводимую к керну печи. [6]
В целях практической проверки возможности использования высокотемпературных внутренних зон печи для выращивания кристаллов карбида кремния в контейнерах специальной конструкции было намечено опробование размещения контейнеров в следующих зонах высокотемпературных зон печи: у керна, сверху керна, в керне печи с погружением контейнера на 400 мм в тело керна, в керне печи с погружением контейнера на 200 мм в тело керна, при погружении контейнера на 1 / 2 диаметра в керн и на 1 / 2 диаметра в шихту, прилегающую к керну. [7]
В целях практической проверки возможности использования высокотемпературных внутренних зон печи для выращивания кристаллов карбида кремния в контейнерах специальной конструкции было намечено опробование размещения контейнеров в следующих зонах высокотемпературных зон печи: у керна, сверху керна, в керне печи с погружением контейнера на 400 мм в тело керна, в керне печи с погружением контейнера на 200 мм в тело керна, при погружении контейнера на 1 / 2 диаметра в керн и на 1 / 2 диаметра в шихту, прилегающую к керну. [8]
Керн графитировочной печи в комплексе с короткой сетью являются звеном, определяющим электрические параметры всей электропечной установки ( ЭПУ) графитации. При этом важнейшее значение имеют индуктивности керна печи и боковых шинопакетов, являющихся основной частью короткой сети, расчет которых необходимо проводить при совместном рассмотрении системы керн - боковые шинопакеты из-за наличия потоков взаимной индукции между ними. [9]
Операция загрузки хотя и проста, но она весьма ответственна. Основная задача состоит в том, чтобы загрузить керн печи ( керном называется объем загруженных в печь изделий вместе с пересыпкой) таким образом, чтобы сопротивление его было одинаковым по всему сечению. Только в этом случае будет обеспечено равномерное распределение тока по сечению, а следовательно, и равномерный нагрев. Это очень трудная задача, поэтому эта операция должна особенно тщательно выполняться. Керн печи имеет явно выраженное свойство нарастающего эффекта. Любая неравномерность укладки керна незначительная в холодном состоянии, неизбежно разрастается в значительные неравномерности распределения тока при высоких температурах. [10]
![]() |
Печь с глухой подиной для производства карбида кремния. [11] |
Объем образовавшегося в печи карбида кремния всегда значительно меньше объема шихты. Во избежание образования пустот за счет уменьшения объема шихты керн печи должен быть подвижным. [12]
Для полного расчета печи и мощности трансформатора к ней недостает данных по удельной плотности тока в керне. Это очень важный фактор, определяющий, прежде всего, возможность достижения необходимых максимальных температур в керне печи. Причем, этот показатель находится в зависимости от сечения керна. Следует установить одну достоверную зависимость: чем больше сечение керна, тем ниже допускается удельная плотность тока. При плотности тока выше оптимальной, неминуемо придем к излишней установленной мощности трансформатора. [13]
В настоящее время предложено и предлагаются различные конструкции боковых шинопакетов графитировоч-ных печей. Разработанный метод позволяет получить результаты для сравнения графитировочных печей с различными предлагаемыми ошиновками по их общим индуктивностям, по неравномерности токораспределения по сечению керна печи и по отдельным шинам боковых пакетов. Метод позволяет давать рекомендации по оптимизации коротких сетей графитировочных печей. [14]
Термическая обработка изделий производится в печах сопротивления двумя способами ( пропитка в жидком или газообразном Si) при температуре от 1500 - 2200 С. Пропитка в жидком Si производится следующим образом: в специально изготовленных из рекристаллизованного карбида кремния камерах устанавливаются на подставках изделия и засыпаются кристаллическим кремнием крупностью 10 - 0 мм. Камера собирается внутри графитового керна печей сопротивления. Нагрев камеры осуществляется с боков и верха. Пропитка изделий в газообразном Si производится в графитовых тиглях или корытах, установленных внутри керна печей сопротивления. Изделия помещаются над кристаллическим кремнием, насыпанным на дно тигля на специальных подставках. Измерение температуры производится оптическим пирометром на пробки в замерных трубках, которые пропускаются через камеру или тигель. [15]