Влажный кислород
Cтраница 4
В случае реальных поверхностей кремния и образцов, окисленных при умеренных температурах во влажном кислороде, на границе Si-SiOa присутствует высокая концентрация медленных состояний адсорбционного происхождения, обладающих большими, чем у ловушек оксида, сечениями захвата. По этой причине кривые термо - и фотостимулированной эмиссии будут нести информацию не об энергетических параметрах ловушек диэлектрика, а об энергии активации более быстро релаксирующих граничных состояний. [47]
При проведении оценок считалось, что, как обычно принято, окисление ведется во влажном кислороде. Если окисление вести в сухом кислороде, то окисная пленка растет гораздо медленнее и расчет распределения примесей после второй стадии диффузии бора значительно упрощается. Однако окисление в сухом кислороде не позволяет в процессе диффузии вырастить пленку, имеющую достаточную толщину для проведения дальнейших операций. [48]
 |
Зонная диаграмма полупроводника при наличии поверхностного заряда.| Изменение поверхностного потенциала в случае обеднения и инверсии на поверхности. [49] |
При исследовании поверхностной электропроводности полупроводников в газовом цикле: сухой кислород - озонированный кислород - влажный кислород ( цикл Браттейна - Бардина) было установлено, что в атмосфере сухого кислорода на поверхности полупроводника устанавливается такой поверхностный заряд, что независимо от типа электропроводности уровень Ферми располагается в кристалле близко к середине запрещенной зоны. Во влажной атмосфере на поверхности образуется положительный заряд. Из рисунка видно, что независимо от типа электропроводности в случае слабого легирования полупроводника на поверхности образуется я-слой. Атмосфере озонированного кислорода соответствует максимальное отрицательное значение поверхностного заряда. [50]
При выборе материалов для изготовления деталей кислородных компрессоров необходимо учитывать возможность повышенной коррозии в среде влажного кислорода. Опасность коррозии еще усугубляется необходимостью обезжиривать всю проточную часть машины во избежание попадания масла в кислород. Особенно сильная коррозия обезжиренных деталей происходит после остановки машины, так как при охлаждении кислорода, находящегося в проточной части, из него выпадает влага. [51]
Методика заключается в пропускании над тонко измельченным испытуемым продуктом воздуха, пара, водорода, влажного кислорода или смеси кислорода и азота при 650 - 1250 С в зависимости от характера пробы. Увлекаемый водяными парами фтористый водород уносится в конденсат, где поглощается водой или щелочью и определяется любым методом. [52]
Следовые количества азота, обычно еще сохраняющиеся в препарате, можно удалить нагреванием в потоке влажного кислорода в течение 18 ч при 530 - 570 С. [53]
 |
Типы применяемых компенсаторов. I-лирообразный. II-линзовый. III-сильфонный. [54] |
Применение для сжатого кислорода трубопроводов из красной меди обусловлено тем, что стальные трубы псд действием влажного кислорода могут подвергаться коррозии. Креме того, известны случаи загорания стальных трубопроводов при псдаче через них сжатого кислорсда псд высоким давлением. [55]
Была предпринята попытка обнаружить свободно-радикальные образования при облучении ультрафиолетовым светом порошкообразной окиси цинка в контакте с влажным кислородом при 20 С, а также при 77 К. Работа в этом направлении продолжается. [56]
При термическом оксидировании кремниевая пластина подвергается нагреву при температуре 900 - 1250 С в атмосфере сухого или влажного кислорода. На пластине адсорбируются атомы кислорода, которые диффундируют через образующийся оксидный слой и взаимодействуют с атомами кремния на границе раздела кремний - оксидная пленка. Скорость оксидирования зависит от температуры и давления кислорода или водяного пара. На скорость оксидирования влияют примеси, имеющиеся на поверхности пластины. Чем выше концентрация примесей, тем быстрее идет процесс оксидирования. [57]
Метиларсин CH3AsH2 при действии сухого кислорода моментально окисляется в окись метиларсина СН3 AsO, при действии же влажного кислорода метиларсин медленно, а при действии азотной кислоты - быстро переходит в метиларсоновую кислоту. [58]
Диффузионные термические установки оборудованы газовыми системами ( рис. 40), служащими для окисления полупроводниковых пластин 2 в сухом и влажном кислороде. Пройдя через увлажнитель, кислород с парами поступает в рабочий канал / термической установки. Имеющийся в увлажнителе кран позволяет направлять кислород через воду или минуя ее прямо в рабочий канал термической установки. Температура воды увлажнителя поддерживается на заданном уровне автоматической системой регулирования. [59]
Страницы: 1 2 3 4