Cтраница 4
Реакторы для травления также обрабатывают по одной пластине и производят селективное удаление пленок алюминия, вольфрама, кремния, поликремния, двуокиси кремния и фоторезиста, а также бесчисленных загрязнений. Данная технология требует огромного количества воды и электроэнергии. Планаризация ( получение плоских пленок) осуществляется способом влажной химической и механической полировки. Попросту говоря, дело заключается в следующем. [46]