Суммарная аберрация

Cтраница 1

Суммарная аберрация уменьшающихся линз на площади 5X5 мм2 не превышает 0 05 мкм, что обеспечивает разрешающую способность 0 2 мкм. Существующие резисты и источники ионов уже удовлетворяют требованиям ионной литографии. [1]

Проверять нужно всю оптическую систему, так как исправляются суммарные аберрации и камерного и коллиматорного объектива. Каждый из них по отдельности может обладать значительными аберрациями. Для спектральных приборов с небольшим относительным отверстием условие достаточно малых аберраций оптики обычно удовлетворяется довольно легко. Наблюдаемые иногда недостатки оптики относятся не к ее расчету, а к изготовлению данного экземпляра. [2]

К вычислению аберраций центрированной оптической системы. [3]

При наличии меридионального увеличения Г призма и решетка оказывают влияние на величину суммарных аберраций оптической системы спектрографа. [4]

Оказывается, если выразить волновые аберрации каждого элемента системы в координатах Зайделя, то суммарные аберрации третьего порядка системы в ее выходном зрачке ( в выходном зрачке системы координаты Зайделя совпадают с обычными) равны просто сумме аберраций элементов даже без масштабного преобразования переменных. Обычно в курсах оптики координаты Зайделя определяют заранее, после че го получение суммарных аберраций системы простым сложением выглядит следствием введения особых координат. Кроме того, использование такого искусственного построения, как эйконал Шварцшильда, который не имеет ясного физического истолкования, оставляет всегда открытым вопрос о том, какой же физический процесс лежит в основе законов преобразования и сложения аберраций. [5]

Обращает на себя внимание то обстоятельство, что значения & ( 5, необходимые для компенсации различных полевых аберраций, имеют одинаковый знак, следовательно, придавая Ь 1 какое-либо значение внутри указанного диапазона, можно существенно снизить суммарную аберрацию пятого порядка. При этом эффект от введения в линзы сферической деформации пятого порядка должен быть тем больше, чем больше увеличение объектива. [6]

Схемы автоколлимационных зеркальных монохроматоров. а - с призмой 6 - с плоской решеткой. [8]

Ширина а параллельных пучков до и после дисперсии одинакова, так что меридиональное увеличение призмы или решетки равно 1, и аберрации оптической системы равны удвоенным аберрациям зеркала для параллельных пучков, а диспергирующее устройство вызывает лишь искривление спектральных линий. Когда объективом служит сферическое зеркало, а падающий и отраженный лучи в вершине зеркала О образуют между собой угол а, суммарные аберрации системы в направлении дисперсии ( 6z /) меньше всего, когда щель и ее изображение находятся в меридиональном астигматическом фокусе, на расстоянии А - / а2 / 4 от гауссовой плоскости по направлению к зеркалу. [9]

Апертурную диафрагму объектива ( и выходной зрачок) совместим с плоскостью второй ДЛ и, используя аппарат, разработанный в гл. При сложении с помощью формул (2.11) необходимо учесть переход от координат изображения, формируемого первой линзой, к координатам изображения, формируемого второй. Однако суммарные аберрации целесообразно выразить через координаты точки в предметной плоскости объектива, поскольку и промежуточное, и окончательное изображения могут находиться в бесконечности. [10]

В соответствии с (1.7) значение / 2, при котором с данной призмой получается необходимая линейная дисперсия, зависит от угла 0, а значит и от выбора отношения V / 2 / fi в формуле ( III. Если V - j 1, то при заданной дисперсии вместе с / t уменьшаются общие габариты прибора, зато при данных размерах призмы увеличивается относительное отверстие et коллиматор ного объектива. V, тем большую часть суммарных аберраций 5у составляют аберрации коллиматор ного объектива. К тому же при малых / х приходится применять очень узкие щели, что заставляет предъявлять жесткие требования к точности их изготовления. [11]

Отметим, что соотношение типа (2.16) можно получить для любой другой системы оптически сопряженных плоскостей, не обязательно связанной с выходными зрачками элементов. Однако при оценке аберрационных искажений изображения, формируемого системой, необходимо знать области изменения зрачковых и полевых координат. Независимость зрачковых и полевых координат в плоскости зрачка заставляет во всех расчетах пересчитывать суммарные аберрации именно в эту плоскость. По этой же причине координаты точки поверхности ( плоскости), на которой рассматривают аберрации, были заранее названы зрачковыми. Следует отметить, что независимость координат в плоскости выходного зрачка соблюдается только в первом приближении. На самом деле размеры и форма области в плоскости выходного зрачка, которую занимают лучи, равномерно заполняющие входной зрачок, могут сильно изменяться при удалении полевой точки от оси. Это явление, получившее название аберрационного виньетирования, особенно важно для широкоугольных объективов [39], которые в настоящей книге не рассматриваются. [12]

При считывании с диска может возникать расфокусировка Az 2 мкм ( 1 20 0 25); этой ситуации соответствует кривая С. Если провести сравнение с кривой С на рис. 2.24 ( W2o0 5), то оказывается, что они практически совпадают в высокочастотной области. Это значит, что наличие аберраций обусловливает более жесткие допуски на расфокусировку при считывании, и в примере, рассмотренном выше, этот допуск уменьшается до величины, равной одной глубине фокуса объектива. Практически стремятся к получению суммарной аберрации для среднеквадратичного отклонения ОДП лучей, фокусируемых на диск, не более 0.05 А. О ЮЛ, что соответствует практически дифракционно-ограниченному пятну. [13]

Другой важный источник ошибок линзы заключается в несовершенстве технологии. Невозможно сделать электроды или наконечники полюсов полностью аксиально-симметричными. Причиной этого являются неоднородности материала, так же как и асимметрия, возникающая в процессе изготовления. Кроме того, в многокомпонентных системах основной проблемой может оказаться юстировка. В результате линза не сможет воспроизвести стигматическое изображение точечного объекта, даже если он расположен на оси. Так как аксиальная симметрия отсутствует, два луча образуют две разные точки изображения. Этот случай вполне аналогичен случаю астигматизма ( разд. Поэтому суммарную аберрацию называют аксиальным астигматизмом, чтобы подчеркнуть тот факт, что она появляется даже для точек предмета на оси. [14]

Страницы: 1