Cтраница 2
Сущность диффузии ( за исключением особых случаев) состоит во внедрении атомов легирующей примеси в кристаллическую решетку кремния и образовании области с противоположным типом электропроводности. Эта область ограничена р-я-пе-реходом. Количество вводимой примеси должно быть достаточным для компенсации легирующей примеси в исходном материале и для создания избытка носителей противоположного типа электропроводности. Ввиду конечной ( и очень малой) скорости диффузии концентрация введенной примеси убывает в направлении от поверхности, через которую происходит диффузия, вглубь. [16]
Сущность диффузии ( за исключением особых случаев) состоит во внедрении атомов легирующей примеси в кристаллическую решетку кремния и образовании области с противоположным типом электропроводности. Эта область ограничена р-я-пе-реходом. Количество вводимой примеси должно быть достаточным для компенсации легирующей примеси в исходном материале и для создания избытка носителей противоположного типа электропроводности. Ввиду конечной ( и очень малой) скорости диффузии концентрация введенной примеси убывает в направлении от поверхности, через которую происходит диффузия, вглубь. [17]
На первом этапе процесса происходит установление в грубом масштабе профиля концентрации введенного реагента по сечению реактора по мере удаления от места ввода. На втором этапе происходит турбулентное дробление молей реагента и их смешение с плазмой до молекулярных масштабов посредством молекулярной диффузии. Естественно, в реальных условиях процессы, имеющие место на указанных этапах, происходят одновременно. Полагая, что процесс перемешивания происходит в цилиндрическом реакторе, обозначим через / п длину участка канала реактора от места ввода реагента до сечения, в котором профиль концентрации введенной примеси можно считать установившимся в пределах погрешностей эксперимента. Очевидно, физический смысл величины / п будет различным в зависимости от того, какой из вышеупомянутых этапов процесса перемешивания будет лимитирующей стадией. В случае, когда TiT2, величина 1П представляет собой, очевидно, лишь длину зоны установления профиля концентраций примеси в потоке. Действительно, в случае i iz, к тому моменту, когда профиль концентрации примеси установится, химическая реакция также закончится. [18]