Cтраница 3
Промытую спиртом и высушенную пластину кремния помещают на выступы второго ( чистого) держателя рабочей стороной вверх. Пластину вдвигают в рабочую зону постепенно, выдержав ее предварительно в зоне низкой температуры в течение 5 мин. При этом в окислительной атмосфере на поверхности пластины образуется слой боросиликатного стекла, который играет роль отражательной границы. Происходит дальнейшая диффузия бора в кремний из сформированного на первой стадии диффузии тонкого диффузионного слоя с высокой поверхностной концентрацией бора. Граница диффузионного слоя продвигается в глубь кристалла. Окончательное положение р-л-перехода определяется временем диффузии при разгонке. По окончании процесса пластину постепенно выдвигают из рабочей зоны. Поверхностный слой боросиликатного стекла стравливают в плавиковой кислоте. После промывки и сушки пластины приступают к изучению диффузионного слоя. [31]