Коэффициент - распыление
Cтраница 2
Экспериментальные данные по коэффициентам распыления, особенно относящиеся к осаждению тонких пленок, подробно излагаются в гл. [16]
Важным параметром, определяющим коэффициент распыления, является угол падения ионов. [17]
Энергия распыляемых атомов и коэффициент распыления с уменьшением атомного веса бомбардирующих ионов уменьшаются. Это, вероятно, связано с более глубоким проникновением легких ионов в мишень и, следовательно, с большими потерями. [18]
В табл. 2.4 приведены коэффициенты распыления некоторых металлов. Коэффициент распыления необходимо рассматривать как случайную величину, обладающую определенными статистическими характеристиками. [19]
При бомбардировке мишени молекулами коэффициент распыления оказывается таким же, как если бы атомы, входящие в состав молекулы, приходили на мишень раздельно со скоростью, равной скорости молекулы и распыляли материал мишени независимо друг от друга. При бомбардировке нейтральными атомами коэффициент распыления должен быть таким же, как и в случае соответствующих ионов. Это было подтверждено рядом исследований [53, 54]; в работе [55] утверждается, что коэффици енты различны. Следует заметить, что собрать надежные экспериментальные данные по этому вопросу довольно трудно. [20]
 |
Зависимость коэффициентов распыления кварца ( в молекулах на нон от энергии ионов аргона. [21] |
На рис. 6 показан коэффициент распыления вольфрама в зависимости от энергии ионов различных инертных газов и ртути Кривые, представленные на этих рисунках в полулогарифмическом масштабе, можно экстраполировать к наклону, равному бесконечности, и таким образом, определить пороговую энергию распыления. В этих результатах удивительным является очень малое отличие порогов распыления для различных ионов. По-видимому, этот параметр является более характерным для различных материалов мишени. В табл. 1 перечислены значения порогов для двадцати трех металлов, облучаемых ионами Ne, Аг, Кг, Хе и Hg. Из табл. видно, что массы сталкивающихся партнеров вряд ли существенны и что величина порога приблизительно равна 4Н, где Н - теплота сублимации. [22]
Таким образом, увеличение коэффициента распыления возможно за счет увеличения как энергии ионов, так и молекулярного веса газов, в среде которых происходит распыление. [23]
 |
Зависимость ко - пьшения зависит от свойств рас-эффициента распыления ми - пыляемого материала, от массы шени от энергии ионов и энергии бомбардирующих, ио. [24] |
Характерно, что значение коэффициента распыления практически не зависит от температуры мишени. [25]
Таким образом, увеличение коэффициента распыления возможно за счет увеличения как энергии ионов, так и молекулярного веса газов, в среде которых происходит распыление. [26]
 |
Схема распределения потенциала между электродами. [27] |
Это затрудняет точное определение коэффициентов распыления. [28]
 |
Зависимость коэффициента распыления никеля, молибдена, вольфрама и платины от угла падения ( относительно нормали к поверхности мишени ионов ртути с энергией 200 эВ. [29] |
В настоящее время относительно коэффициентов распыления металлов имеется много сведений, однако подобных данных для диэлектриков, особенно в области энергий, интересных с точки зрения нанесения тонких пленок, совершенно недостаточно. При высокочастотном распылении приходится иметь дело с широким спектром энергий бомбардирующих ионов, что делает невозможным получение надежных результатов по зависимости коэффициента распыления от энергии. Применение ионных пучков облегчает решение задачи, если используется чувствительный метод определения параметров распыленных атомов и известен потенциал, под которым находится облучаемая поверхность диэлектрика. Коэффициенты распыления для диэлектриков обычно меньше, чем для металлов ( см. гл. [30]
Страницы: 1 2 3 4