Cтраница 2
Как отмечалось выше, при сравнительно низкой температуре подложки ( 100 С) образуется мелкозернистая разориентирован-ная структура. Такая структура должна быть насыщена больше-угловыми границами, отстоящими на малые ( 10 нм) расстояния друг от друга. При этом около 10 % всех атомов пленки могут быть в нерегулярном положении и оказывать легирующее действие. [16]
Как отмечалось выше, при сравнительно низкой температуре подложки ( 100 С) образуется мелкозернистая разориентирован-ная структура. Такая структура должна быть насыщена больше-угловыми границами, отстоящими на малые ( 10 нм) расстояния друг от друга. При этом около 10 % всех атомов пленки могут быть в нерегулярном положений и оказывать легирующее действие. [17]
Перед созданием проводящих слоев производится тщательная оч ист к а подложек промывкой в спирте, кипячением в воде и обработкой в парах спирта. Загрязнения подложек ухудшают адгезию, которая определяется атомными связями. Загрязнения, особенно жировые, создают между пленкой и подложкой очень тонкие, вплоть до мономолекулярных, слои, не дающие возможности атомам пленки и подложки сблизиться на расстояния, необходимые для проявления сил сцепления. [18]
Зависимости, характеризующие структурные критерии явления избирательного переноса при трении. 1-пленка меди. 2-слой окислов. 3-основной металл. [19] |
Послойный микроспектральный анализ показал, что под поверхностным слоем медного образца имеется слой окислов толщиной порядка 0 1 мкм. Образующийся окисный слой способствует локализации структурных изменений в поверхностных слоях и препятствует вовлечению в процесс деформирования более глубоких слоев металла. В [20] высокая плотность вакансий в поверхностных слоях при трении в условиях избирательного переноса рассматривается с позиций дырочной теории жидкого состояния: материал достигает состояния, близкого к расплаву, но ггри этом температура пленки близка к температуре кристаллизации. Такое число вакансий обеспечивает высокую подвижность атомов пленки. [20]