Cтраница 2
Разработка и исследование тестовых кристаллов является одним из важных этапов проектирования. [16]
Конструирование тестовых схем представляет самостоятельную задачу, решаемую для каждого конструктивно-технологического исполнения БИС ( МСБ) с учетом определенных принципов. В общем случае конструирование тестовой схемы ( тестового кристалла или платы) означает выбор номенклатуры и количества информативных элементов ( тестовых ячеек), позволяющих по результатам измерений на них ( в основном электрическими методами) получать сведения о параметрах всех видов, формируемых при изготовлении БИС. [17]
Исходными данными для оптимизации являются полученные в результате экспериментального исследования тестового кристалла законы распределения параметров компонентов, а исходной точкой - параметры компонентов, найденные в результате детерминированной оптимизации. В этом случае уточняются топологические чертежи. Проектирование схемы завершается разработкой конструкторской документации. [18]
Тестовый, или параметрический, контроль - это контроль технологического процесса по тестовым схемам. Тестовая схема является, как правило, обобщенным аналогом реальной БИС или МСБ и в то же время содержит специальные структуры, предназначенные для получения параметров качества технологического процесса и изделия. Конструктивно тестовые схемы реализуют в виде тестовых ячеек и тестовых кристаллов или плат. [19]