Cтраница 4
Минимальная температуря устанавливается в течение 50 - 60 мин. Сравнение с азотными ловушками показывает что предельно достижимый вакуум при использовании ловушек с термобатареей такой же, а скорость откачки несколько выше. [46]
На ход диффузионной сварки существенно влияет парциальный состав остаточных газов в камере. Специальные меры ( азотные ловушки, использование безмасляных средств откачки) улучшают условия ведения диффузионной сварки, особенно при пониженных температурах. [47]
Вакуумная система установки состоит из колпака, механического насоса ВН-6-2М, паромасляного насоса Н-2 Т, высоковакуумного затвора, клапанной коробки, натекателей, азотной ловушки с питателем и трубопроводов. Паромасляный насос, высоковакуумный затвор, азотная ловушка с питателем в совокупности образуют вакуумный агрегат ВА-2-3 РМ. [48]
![]() |
Передвижной течеиска-тель ПТИ-6. [49] |
Камера масс-спектрометра откачивается до 5 - 10 в мм рт. ст. диффузионным насосом НВО-40 с форвакуумным механическим насосом ВН-461М. Между насосом НВО-40 и камерой размещена азотная ловушка. Камера соединяется с испытуемым объектом через дроссельный вакуумный вентиль Ду-32. Вентиль Ду-25 служит для отсоединения камеры от вакуумной системы при смене катода, ремонте камеры и размораживании ловушки. Вентили Ду-8 служат для управления откачкой механическим насосом предварительного разрежения. [50]
Чтобы исключить влияние остаточных газов, адсорбирующихся медью на воздухе перед напылением на подложку, как и при напылении титана, производится отпыл на заслонку в течение 10 сек. После окончания испарения меди диффузионный насос продолжает работать при действующей азотной ловушке еще примерно 5 - 10 мин. Это вызвано тем, что при напылении подложка разогревается до температуры 100 - 160 С, при которой медь легко окисляется даже при небольшом количестве остаточных газов. После охлаждения подложки подача жидкого азота на ловушку и откачка прекращаются. Разгерметизация установки происходит после того как температура подложек снизится до 40 - 50 С. [51]
Вакуум до 1x10 мм рт. ст. устойчиво обеспечивается форвакуумным и диффузионным насосами. Вакуум до 1x10 мм рт. ст. может быть достигнут при использовании азотной ловушки и ряда специальных устройств. [52]
![]() |
Общий вид ловушки ТВЛ-5с-4 для насоса Н-5 с. [53] |
В связи с этим корпуса ловушек имеют увеличенную площадь сечения без изменения присоединительных размеров. В результате этого, несмотря на наличие трехрядной системы поверхностей конденсации ( азотная ловушка имеет всего один ряд поверхностей конденсации), сопротивление откачки у термоэлектрических ловушек оказалось меньшим, чем у соответствующих им азотных ловушек. [54]
Температура регенерации специальных адсорбентов составляет 300 - 350 С, если носителем является сили-кагель, и 400 - 450 С, если в качестве носителя используют активный уголь. Адсорбционная способность платины восстанавливается [15] после откачки в течение 6 - 10 ч форвакуумным насосом через азотную ловушку при 300 - 350 С, причем увеличение температуры лишь ускоряет регенерацию. Для быстрой регенерации платинированного угля после образования монослоя водорода ( давление 10 - 5 - 10 - 4 мм рт. ст.) оказывается достаточным отогрев адсорбента до комнатной температуры, при которой водород диффундирует в глубь кристаллов платины вследствие активированной адсорбции. [55]
Агрегат выполнен из коррозионностойкой стали и обезгаживается прогревом при 400 - 450 С. В состав агрегата входят: сверхвысоковакуумный титановый охлаждаемый насос; паромасляный насос Н-5 С - М; азотная ловушка, цельнометаллический вентиль 80ТР - У, блок электропитания. Агрегат имеет пульт управления, снабжен комплектом запасных медных уплотнителей. [56]
Не включать омегатрон РМО-4С при давлении выше 10 - 5 тор, так как из-за большого рассеяния ионов он не дает показаний. Загрязнение омегатрона маслом ухудшает стабильность его работы, поэтому не допускается эксплуатация омегатрона с па-ромасляным насосом без азотной ловушки. [57]
![]() |
Бомба ЖК для опрес. [58] |
Через эту трубу и вентиль сливают жидкость из бомбы. Те-чеискатель ПТИ-6 состоит из масс-спектрометра и вакуумной системы, образованной диффузионным ( паромасляным), механическим насосами и азотной ловушкой. [59]
Это связано с тем, что вращательные масляные насосы значительно дороже простых низковакуумных коммуникаций. Что касается стоимости пароструйного насоса, то он приблизительно равен стоимости высоковакуумной коммуникации, в состав которой обычно входят дорогостоящий высоковакуумный затвор и азотная ловушка, увеличение габаритных размеров последних нецелесообразно. [60]