Cтраница 4
Действующая ( фактическая) скорость откачки любой откачной системы зависит от скорости откачки насосов и проводимости ( пропускной способности) трубопроводов, арматуры и других элементов, из которых состоит откачная система. В тех случаях, когда в откачную систему включаются вымораживающие ловушки, можно при расчете откачных систем к скорости откачки насосов прибавлять скорость откачки ловушек. [46]
В настоящее время существуют два основных способа получения вакуума: а) при помощи вакуумных насосов и б) при помощи специальных поглотителей газа. Необходимо упомянуть и третий, правда вспомогательный, способ - применение вымораживающих ловушек, снижающих давление паров, присутствующих в вакуумной системе. [47]
Прошедший через вымораживающие ловушки газ поступает в обычный реактор для улавливания фтора, где с оставшимся фтором взаимодействует свежий тетрафторид урана. Выходящий газ пропускается через фильтр и для полного удаления гексафторида через вторичные вымораживающие ловушки. Отработанный газ промывается в скруббере раствором едкого кали; при этом нейтрализуются следы фтора и улавливается весь уран. [48]
Основными преимуществами вакуумных эжектор-ных насосов являются: простота, дешевизна, отсутствие движущихся частей, незначительный износ, простота обслуживания, возможность работы с сильно агрессивными средами. На насос не оказывают вредного действия запыленные и увлажненные газы и поэтому не надо устанавливать фильтры и вымораживающие ловушки. [49]
Последние следы влаги, согласно Кенигу ( Nachr. Эта влага неожиданно выделяется на охлаждае-ной жидким воздухом коллодиевой пленке в виде кристаллов с кубической решеткой. Вымораживающие ловушки этого не устраняют. Может также наблюдаться орторомОическая дифракционная картина, вызванная парами смазки крана; однако ее нетрудно устранить, если охлаждать патрубок. [50]
Остаточное давление в электронной пушке и рабочей камере определяется двумя факторами: отсутствием электрич. Для выполнения этих условий достаточен вакуум но хуже 5 - 10 - 4жж рт. ст. Более высокая степень разрежения в рабочей камере ( 5 - 10 - s - 10 - 10 мм рт. ст. ] требуется при обработке ПП и тонких пленок. Пары масла удаляются вымораживающими ловушками. Применение вакуумных уплотнений, требующихся при сочленении отдельных узлов установки, и передача в вакуум поступательного и вращательпого движения координатного стола создают серьезные трудности в поддержании сверхвысокого вакуума. [51]
Однако другие газы, такие как Н2О, СО2 и углеводороды при компрессии могут конденсироваться. Для получения точных данных о давлении присутствие последних нужно исключить. Это достигается обычно использованием вымораживающей ловушки с жидким азотом, встроенной в линию соединения манометра с вакуумной системой. К сожалению, давление паров самой ртути при комнатной температуре остается существенным ( 2 10 - з мм рт. ст.), в результате чего из манометра на ловушку уходят довольно значительные количества ртути. [52]