Маскодержатель
Cтраница 1
 |
Держатель подложки. [1] |
Маскодержатель представляет собой стальной диск толщиной 3 мм и диаметр 150 мм. Диск закреплен на вертикальном валу, который вращается в подшипниках, установленных в стальных кронштейнах. Маскодержатель расположен ниже верхнего кронштейна, на котором закреплен держатель подложки. Таким образом, при повороте диска каждая маска по очереди совмещается с подложкой, чем обеспечивается последовательное напыление на нее тонкопленочных слоев, имеющих различный рисунок. Поворот испарителя дает возможность одновременно менять состав напыляемого материала. [2]
Две дыхательные маски различных размеров, маскодержатель, трубка высокого давления с переходом для присоединения запасного или транспортного баллона, баллонный ключ и коробка с мелкими запасными частями закреплены на внутренней стороне крышки аппарата при помощи пружинных зажимов. В коробке находятся три клинка ларингоскопа, три интубатора разных размеров с надувными обтюраторами, груша для надувания обтюраторов, три языкодержателя разных размеров, винтовой роторасширитель и языкоизвлекатель. [3]
К основным элементам подколпачного устройства относятся: испарители, маски, подложки, подложкодержа-тели и маскодержатели, нагреватели подложек, заслонки. [4]
Убедившись в исправности аппарата, проверяют наличие следующих вспомогательных принадлежностей: гофрированных дыхательных шлангов, банки аспиратора с отсасывающей трубкой, дыхательного мешка со шлангом, дыхательной маски ( двух размеров), соединительной коробки с клапаном выдоха, маскодержателя, трубки высокого давления с переходом для присоединения запасного или транспортного баллона, - баллонного ключа, винтового роторасширителя, языкодержателя и перехода для присоединения интубаторов. [5]
Проверкой комплектности аппарата устанавливают наличие следующих вспомогательных принадлежностей и их исправность: гофрированных дыхательных шлангов с резиновой трубкой, банки аспиратора с отсасывающей трубкой, дыхательного мешка со шлангом, дыхательной маски ( двух размеров), соединительной коробки с клапаном выдоха, маскодержателя, трубки высокого давления с переходом для присоединения запасного или транспортного баллона, баллонного ключа, шпильки, переходного штуцера, винтового роторасширителя, языкодержа-теля и перехода для присоединения интубаторов. [6]
Свободная маска представляет собой тонкий экран с отверстиями, очертания и расположения которых соответствуют желаемой конфигурации напыляемой пленки. Свободную маску укрепляют в маскодержателе, который обеспечивает ее плотный прижим и фиксированное положение по отношению к подложке. Испаряемое вещество осаждается только на незакрытых маской местах подложки. [7]
 |
Аппарат искусственного дыхания ГС-8м. [8] |
В комплект принадлежностей аппарата входят дыхательный мешок 5 со шлангом 4, дыхательная маска 17 ( двух размеров), соединительная коробка 16 с клапаном выдоха. Кроме этого, в комплект аппарата ГС-8м входят следующие принадлежности ( на рис. не показаны): маскодержатель, трубка высокого давления с переходом для присоединения запасного или транспортного кислородного баллона, гаечный ключ, шпилька для проверки предохранительных клапанов переходный штуцер для проверки величины ингаляции кислорода, винтовой роторасширитель, два сетчатых языкодержателя разных размеров, щипцовый языкодержатель и переход для присоединения интубаторов. [9]
 |
Схема изготовления трехслойных биметаллических масок. [10] |
При напылении через узкие щели, ширина которых приближается к толщине маски, начинает сказываться краевой эффект. Уменьшение размеров элементов и повышение плотности их расположения на поверхности подложки, разница в коэффициентах линейного расширения подложки, маски и маскодержателя увеличивают трудности точного последовательного совмещения и также ограничивают применение свободных масок. [11]
Маскодержатель представляет собой стальной диск толщиной 3 мм и диаметр 150 мм. Диск закреплен на вертикальном валу, который вращается в подшипниках, установленных в стальных кронштейнах. Маскодержатель расположен ниже верхнего кронштейна, на котором закреплен держатель подложки. Таким образом, при повороте диска каждая маска по очереди совмещается с подложкой, чем обеспечивается последовательное напыление на нее тонкопленочных слоев, имеющих различный рисунок. Поворот испарителя дает возможность одновременно менять состав напыляемого материала. [12]
Метод свободной маски применяется при нанесении пленок термическим испарением в вакууме. Свободная маска представляет собой тонкий экран с отверстиями, очертания и расположение которых соответствуют необходимой конфигурации напыляемой пленки. Свободную маску укрепляют в маскодержателе, который обеспечивает плотный контакт маски и ее фиксированное положение по отношению к подложке. Осаждение испаряемого вещества происходит только на незакрытых маской местах подложки. [13]
 |
Маска из молибденовой ленты для напыления точечных металлических контактов. [14] |
Металлическая или стеклянная маска крепится в рамке. Подложка крепится с нижней стороны подложкодержателя и с помощью стопорной шпильки и нажимного штифта устанавливается над маской. Совмещение производится под микроскопом через рамку маскодержателя, а перемещение маски или подложки - с помощью боковых установочных винтов. Оба устройства для напыления ( рис. 4 и 5), состоящие из маскодержателя с маской и подложкодержателя с подложкой, для улучшения условий осаждения пленок при повышенных температурах, подвергаются нагреванию от спирали, установленной над подложкодержателем. [15]
Страницы: 1 2