Диффузионное масло

Cтраница 2

Прохождение через систему больших количеств газа при относительно высоком давлении является все же тяжелой нагрузкой для большинства насосов. Ионные вакуумные насосы, например, не подходят для систем ионного распыления, за исключением систем низкого давления. В установках для ионного распыления наиболее широко используются диффузионные насосы, которые можно считать вполне пригодными, если в них отсутствует значительный обратный поток паров диффузионного масла. [16]

Наиболее распространенная схема течеискания предусматривает присоединение течеискателя к трубопроводу насоса предварительного разрежения вакуумной системы откачиваемого объема. При этом реальная чувствительность метода сильно повышается ( см. § 28), однако постоя-нная времени оказывается сравнительно большой. В некоторых случаях, особенно в системах с применением сорбционных насосов, течеиска-тель подсоединяют непосредственно к высоковакуумной части установки. При этом работа без вымораживающей азотной ловушки крайне нежелательна, так как возможно загрязнение сорбционных насосов парами диффузионного масла. Во всех случаях нужно длину трубопровода к течеискателю делать возможно короткой и не прибегать к резиновым шлангам, газоотделение которых весьма велико. Методика течеискания довольно проста. Поиск течи ведут со сравнительно сильной струей обдувающего газа, начиная с предполагаемых мест течей вакуумной системы, расположенных в верхних частях, затем переходят к нижележащим участкам. [17]

Оптически плотный отражатель шевронного типа.| Сорбционная ловушка Бионди.| Металлический вариант сорбцнон-ной ловушки Левенсона и Миллсрона Н8. [18]

Ему удалось, используя простой вымораживающий шевронный отражатель для диффузионного насоса диаметром - 15 см с жидкостью DC705, поддерживать вакуум 10 - 8 мм рт. ст. В состав атмосферы остаточных газов входили вода и водород с малыми добавками окиси углерода и легких углеводородов. Такие ловушки, заполненные цеолитом или активированной окисью алюминия, способны поддерживать вакуум от 10 - 10 до 10 - 9 мм рт. ст. непрерывно в течение 75 дней без регенерации. Ле-венсон и Миллерон [48] с помощью сконструированной ими металлической сорбционной ловушки, представленной на рис. 13, получили при использовании в диффузионном насосе рабочей жидкости Конвойл 20 предельный вакуум 2 - 10 - 9мм рт. ст. Применение внешнего охлаждения жидким азотом привело к уменьшению давления еще приблизительно на порядок. Преднамеренный напуск газов показал, чтоС02 и я-бутан в противоположность Н2, Не, Аг, N2, CO и СН4 адсорбируются легко. Пары Конвойл 20 также сорбировались, но при этом цеолит постепенно насыщался, вследствие чего заметно ухудшался вакуум. Госелин и Брайнт [49] использовали цеолит для улавливания паров диффузионного масла DC 705 и достигли предельного вакуума в 2 10 - 9 мм рт. ст. Регенерируемые цеолитовые ловушки уменьшают поступление продуктов разложения масел, таких как бензол, на 3 - 4 порядка величины. [19]

Страницы: 1 2