Cтраница 4
![]() |
Блок-схема прибора ЛАММА-500. [46] |
С развитием техники оптических квантовых генераторов стало возможным применять лазер для испарения и ионизации очень малых участков исследуемых твердых - тел. На рис. 5.6. приведена блок-схема прибора ЛАММА-500, представляющего собой масс-анализатор с лазерным микрозондом, который состоит из лазерного микроскопа в комбинации с времяпролет-ным масс-спектрометром. Образец помещают в камеру, остаточное давление в которой составляет 10 - 5 - 10 - 7 Па. За образцом наблюдают в микроскоп. С помощью гелий-неонового контрольного лазера визируется необходимое место анализа, на которое посылается короткий импульс мощного лазера. Выбранный для анализа участок поверхности твердого образца испаряется и частично ионизуется. Образовавшиеся ионы анализируются времяпролетным масс-спектрометром. [47]
Интересные работы проводятся в области исследования взаимодействий пучков нейтральных и заряженных частиц с металлическими поверхностями. Здесь ограничимся рассмотрением лишь одного примера, который свидетельствует о последних достижениях экспериментальной техники и открывает новые возможности для решения ряда физико-химических задач. Данная установка позволяет регистрировать изменения масс-спектра в быстропротекаю-щих процессах и проводить локальный нагрев образца до высокой температуры. Локальный нагрев и быстрая регистрация масс-спектра ( менее 10 - 3 сек) делают возможным решение одной из важных задач современной техники: исследование состава поверхности или пленки. Пучок световой энергии, излучаемый лазером, фокусируется с помощью линз на поверхности исследуемого вещества. За счет исключительно сильного нагрева происходит полное испарение вещества вблизи фокуса пучка без заметных искажений, связанных с разной летучестью индивидуальных соединений. Испарившееся вещество подвергается ионизации электронным ударом, и после регистрации масс-спектра времяпролетным масс-спектрометром удается установить состав пленки в районе фокуса. При этом диаметр области испарения может быть уменьшен вплоть до 50 микрон и открываются возможности для исследования неоднородностей по составу в пленках и соединениях. [48]