Материал - зонд
Cтраница 1
Материал зонда менее влияет на точность измерений, чем материал электродов, так как при измерениях компенсационным методом после установки зонда он не отводит ток из электролита. Обычно конец зонда, погруженный в электролит, изготовляется из платиновой проволоки. [1]
 |
Влияли. температуры на холловскую подвижность для образцов кремния, легированных бором концентрацией, ат / см3.| Схема измерения т.э.д.с. методом термозонда. [2] |
В качестве материала зонда используют вольфрамовую или стальную проволоку. Вторым контактом служит пластина из меди или свинца. [3]
 |
Анализ слоистых структур искровым методом. [4] |
Для исследований подобного рода огромное значение имеет геометрия it материал зонда. Желательно зонд изготовлять из материала пробы, но часто для нахождения благоприятных характеристик работы искры приходится применять метод проб и ошибок в выборе подходящего материала. Хорошие зонды получаются из высокочистых труднолетучих материалов. Применение для зондов материала, отличного от материала пробы, приводит к понижению чувствительности. Более того, необходимо вводить поправку, учитывающую влияние материала зонда на общий заряд. На рис. 17, а приведена зависимость диаметра кратера от соответствующих экспозиций. Примеси на уровне и-10 - 4 % легко можно определить обычными искровыми методами в зонах, размер которых достигает 250 мк. На рис. 17, б показана зависимость экспозиции от объема материала, удаленного из кратеров. Объемы были рассчитаны измерением глубины и диаметров в предположении, что кратеры представляют собой сегменты сфер. Вплоть до 10 - 8 кулон зависимость линейная; выше этого значения наступает насыщение по мере проявления эффектов самоэкранирования. [5]
 |
Содержание в масс-спектрах ионов из анализируемых образцов и материала зонда. [6] |
Однако после устранения одной сложности возникли другие, связанные с выбором материалов зондов, проводящих подложек и тиглей. При подборе материалов для изготовления зондов были исследованы кремний, платина, алюминий, ниобий, тантал, рений и родий. Установлено, что распыляемость материалов зонда в разряде оказалась различной. [7]
При проведении измерений в интервале высоких температур вплоть до 950 С для ряда полупроводниковых материалов для изготовления зондов используют карбид вольфрама. Материал зонда не должен химически реагировать с полупроводниковым материалом. [8]
Постоянная времени разряда составляла - 25 мкс. Энерговыделение в материале зонда изменялось в пределах ( 1 4 - 4 2) кДж / г. В зависимости от выбора значения напряжения U, температура зонда повышалась до ( 500 - 900) С за ( 60 - 120) мкс, проходила через естественный для опытов с разрядом конденсатора максимум и затем спадала в связи с переносом тепла в среду. [10]
Уоллес и Робош [9] использовали масс-спектрометрический зондовый метод для исследования распределения примесей в бороздчатых зонах металлических образцов. Они пришли к выводу, что материал зонда и его геометрия имеют большое значение в локальном анализе. Авторы использовали противоэлектроды, изготовленные из материалов, идентичных исследуемым пробам, или мз тугоплавких металлов. [11]
 |
Схема униполярного-искрового разряда. [12] |
Кроме того, доля вклада ионов материала зонда свидетельствует об уровне вносимых им примесей. В работе [12] предложено оригинальное решение проблемы путем реализации униполярного разряда, схема которого представлена на рис. 4.3. В данном случае зонд всегда находится под отрицательным потенциалом, а образец под положительным. Кроме того, оказалось возможным практически без замены зонда осуществлять анализ двух-трех образцов. [13]
Система из четырех зондов конструктивно оформляется в виде четырехзондовой головки. Четы-рехзондовую головку крепят к манипулятору, с помощью которого зонды устанавливаются на поверхности образца. В качестве материала зондов используют твердые металлы и сплавы. [14]
 |
Содержание в масс-спектрах ионов из анализируемых образцов и материала зонда. [15] |
Страницы: 1 2