Cтраница 2
Однако после устранения одной сложности возникли другие, связанные с выбором материалов зондов, проводящих подложек и тиглей. При подборе материалов для изготовления зондов были исследованы кремний, платина, алюминий, ниобий, тантал, рений и родий. Установлено, что распыляемость материалов зонда в разряде оказалась различной. [16]
Для исследований подобного рода огромное значение имеет геометрия it материал зонда. Желательно зонд изготовлять из материала пробы, но часто для нахождения благоприятных характеристик работы искры приходится применять метод проб и ошибок в выборе подходящего материала. Хорошие зонды получаются из высокочистых труднолетучих материалов. Применение для зондов материала, отличного от материала пробы, приводит к понижению чувствительности. Более того, необходимо вводить поправку, учитывающую влияние материала зонда на общий заряд. На рис. 17, а приведена зависимость диаметра кратера от соответствующих экспозиций. Примеси на уровне и-10 - 4 % легко можно определить обычными искровыми методами в зонах, размер которых достигает 250 мк. На рис. 17, б показана зависимость экспозиции от объема материала, удаленного из кратеров. Объемы были рассчитаны измерением глубины и диаметров в предположении, что кратеры представляют собой сегменты сфер. Вплоть до 10 - 8 кулон зависимость линейная; выше этого значения наступает насыщение по мере проявления эффектов самоэкранирования. [17]
При поверхностном рассмотрении зонды выполняют элементарную роль, обеспечивая удобный контакт с полупроводником. Однако вопреки ожиданиям, они образуют не омический, а нелинейный или выпрямляющий контакт. Вследствие наличия так называемых поверхностных состояний в случае германиевых диодов коэффициент выпрямления контакта металл - полупроводник практически не зависит от работы выхода металлических электродов. Поэтому основное требование, предъявляемое к материалу для изготовления диодных зондов-это наличие достаточно хороших упругих свойств. Для точечного полупроводникового триода это требование, касающееся механических свойств материала зондов, также остается в силе, но одного его уже недостаточно, так как опыт показывает, что материал зондов сильно влияет на электрические свойства триода. [18]
При поверхностном рассмотрении зонды выполняют элементарную роль, обеспечивая удобный контакт с полупроводником. Однако вопреки ожиданиям, они образуют не омический, а нелинейный или выпрямляющий контакт. Вследствие наличия так называемых поверхностных состояний в случае германиевых диодов коэффициент выпрямления контакта металл - полупроводник практически не зависит от работы выхода металлических электродов. Поэтому основное требование, предъявляемое к материалу для изготовления диодных зондов-это наличие достаточно хороших упругих свойств. Для точечного полупроводникового триода это требование, касающееся механических свойств материала зондов, также остается в силе, но одного его уже недостаточно, так как опыт показывает, что материал зондов сильно влияет на электрические свойства триода. [19]