Cтраница 4
При термокомпрессии соединение образуется благодаря взаимной диффузии двух материалов. Диффузия протекает при определенной температуре: материалы на поверхности раздела не должны расплавляться. Материалы прижимают специальным инструментом. Давление рабочего инструмента должно быть таким, чтобы не повредить подложку схемы, а также не вызвать чрезмерной деформации материала выводов. [46]
При термокомпрессии соединение образуется благодаря взаимной диффузии двух материалов. Диффузия протекает при определенной температуре: материалы на поверхности раздела не должны расплавляться. Материалы прижимают специальным инструментом. Давление рабочего инстр мгнта должно быть таким, чтобы не повредить подложку схемы, а также не вызвать чрезмерной деформации материала выводов. [47]
Цель нагрева - повысить пластичность привариваемого вывода с тем, чтобы прикладываемого усилия оказалось достаточно для обеспечения значительной деформации вывода. Это усилие в то же время не должно приводить к разрушению полупроводникового кристалла или появлению в нем каких-либо структурных дефектов. Для создания усилия используется инструмент из твердого сплава, синтетического сапфира или какого-либо другого особо твердого материала в виде ножа ( клина), острия ( клюва) или капилляра, через который пропускается привариваемый вывод. В последнем случае на конце вывода может создаваться утолщение в форме шарика. Под действием давления происходит адгезия шарика к металлизированной поверхности полупроводникового кристалла. Возможно осуществление термокомпрессии и к неметаллизированной поверхности германия или кремния. В качестве материала вывода используется более или менее пластичный металл, чаще всего золото или алюминий. Механизм термокомпрессии пока еще не выяснен окончательно, но, по-видимому, он связан с тем, что в момент, когда происходит значительная пластическая деформация вывода, разрушаются окисные пленки, покрывающие свариваемые поверхности, и становится возможным сближение этих поверхностей на расстояние порядка межмолекулярного, после чего между ними возникает адгезия за счет сил типа сил Ван-дер - Ваальса. [48]